1 |
H. C. Kim, S. S. Yang, and J. K. Lee, J. Appl. Phys., 93, 9516 (2003)
DOI
ScienceOn
|
2 |
W. J. Chung, J. H. Seo, D. C. Jeong, and K. W. Whang, IEEE trans. Plasma Sci., 31, 1023 (2003)
DOI
ScienceOn
|
3 |
T. Shiga and S. Mikoshiba, J. Phys. D: Appl. Phys. 37, 1221 (2004)
DOI
ScienceOn
|
4 |
P. Y. Oh, J. H. Lee, S. H. Jeong, H. S. Moon, S. B. Lee, K. B. Song, Y. Jung, Y. K. Kim, G. Cho, H. S. Uhm, and E. H. Choi, IEEE trans. Plasma Sci., 34, 317 (2006)
DOI
ScienceOn
|
5 |
W. Lochte-Holtgreven, Plasma Diagnostics (North-Holland Publishing Company, Amsterdam, 1968), p.230
|
6 |
S. Mikoshiba and S. Murayama, Appl. Phys. Lett., 37, 529 (1980)
DOI
|