1 |
G. Oversluizen, M. Klein, S. de Zwart, S. van Heusden, and T. Dekker, J. Appl. Phys. 91, 2403 (2002)
DOI
ScienceOn
|
2 |
C. H. Park, S. H. Lee, D. H. Kim, Y. K. Kim, and J. H. Shin, IEEE Trans. Electron. 48, 2255 (2001)
DOI
ScienceOn
|
3 |
W. K. Min, J. Kang, S. C. Choi, J. W. Song, J. B. Park, and J. R. Lim, in SID' 03 Dig, (2003) , p. 422
|
4 |
J. Ouyang, Th. Callegari, B. Caillier, and J. P. Boeuf, IEEE Trans. Plasma Sci. 31, 422 (2003)
DOI
ScienceOn
|
5 |
T. Yoshioka, A. Miyakoshi, A. Okigawa, E. Mizobata, and K. Toki, in Proc. 7th Int. Workshop (2000) , p. 611
|
6 |
S. B. Lee, B. H. Hong, and E. H. Choi, in IDW' 06 Dig. (2006) , p. 1117
|
7 |
K. H. Park and Y. S. Kim, JID. vol.7, no.2, 1 (2006)
DOI
|
8 |
I. S. Lee, S. J. Yoon, O. D. Kim, and K. Y. Choi, in IDW' 04 Dig, (2004) , p. 1055
|
9 |
M.F.Gillies and G. Oversluizen, J. Appl. Phys. 91, 6315 (2002)
DOI
ScienceOn
|
10 |
J. Y. Kim, S. K. Jang, H. S. Tae, and E. Y. Jeong, in SID' 06 Dig. (2006) , p. 571
|
11 |
J. W. Kang, IEEE Trans. Electron Devices. 52, 922 (2005)
DOI
ScienceOn
|
12 |
K. N. Kim, S. H. Yang, and C. H. Moon, in IDMC' 07 Dig. (2007) , p. 604
|
13 |
J. W. Kang, J. Vac. Sci. Technol. B. 21, 1108 (2003)
DOI
ScienceOn
|
14 |
N. Nagao, N. Kosugi, Y. Takata, N. Nishimura, K. Sumida, and S. Fujiwara, in IDW' 02 Dig. (2002) , p. 765
|
15 |
S. H. Yang, J. S. Moon, K. N. Kim, and C. H. Moon, in IMID' 07 Dig. (2007) , p. 589
|
16 |
Y. Sato, K. Amemiya, N. Saegusa, and M. Uchidoi, in IEDM Tech. Dig. (2002) , P. 1060
|
17 |
B. J. Shin, Trans. KIEE. 52C, 529 (2003)
|
18 |
J. W. Kang, IEEE Trans. Plasma Sci. 34, 371 (2006)
DOI
ScienceOn
|