1 |
E. H. Choi, H. J. Oh, Y. G. Kim, J. J. Ko, J. Y. Lim, J. G. Kim, D. I. Kim, G. S. Cho, and S. O. Kang, Jpn. J. Appl. Phys., 37, 7015 (1998)
DOI
|
2 |
A. Saito, T. Maeda, M. Tone, T. Shiga, and S. Mikoshiba, in SID Digest (2004), p. 210
|
3 |
Z. N. Yu, J. W. Seo, S. J. Yu, D. X. Zheng, and J. Sun, Surf. Coatings Tech., 162, 11 (2002)
|
4 |
S. J. Kwon, K. C. Hong, J. H. Sung, C. H. Lee, K. W. Whang, C. K. Yoon, and J. D. Lee, J. Korean Phys. Soc. 37, 247 (2000)
|
5 |
J. H. Shin and C. H. Park, J. of KIEEME, 15, 909 (2002)
|
6 |
G. Oversluizen, S. Zwart, M. F. Gillies, T. Dekker, and T. J. Vink, Microelectronics J., 35, 319 (2004)
DOI
ScienceOn
|
7 |
S. J. Kwon, H. C. Yang, and K. W. Whang, J. Vac. Sci. Tech. A, 21, 206 (2003)
DOI
ScienceOn
|