Browse > Article

포토리소그래피 기반 차세대 반도체 패턴 기술 및 고해상도 디스플레이로의 응용  

권혁민 (한양대학교 화학공학과)
정욱진 (한양대학교 화학공학과)
최석란 (한양대학교 화학공학과)
하보리나 (한양대학교 화학공학과)
하지연 (한양대학교 화학공학과)
김도환 (한양대학교 화학공학과)
Publication Information
Information Display / v.23, no.5, 2022 , pp. 33-43 More about this Journal
Keywords
Citations & Related Records
Times Cited By KSCI : 18  (Citation Analysis)
연도 인용수 순위
1 곽정훈, 인포메이션 디스플레이 18, 20 (2017).
2 D. Han, Y. Khan, K. Gopalan, A. Pierre, and A. C. Arias, Adv. Funct. Mater. 28, 1802986 (2018).
3 K. Kim, G. Kim, B. R. Lee, S. Ji, S.-Y, Kim, B. W. An, M. H. Song, and J.-Ung. Park, Nanoscale 7, 13410 (2015).
4 S. Kim, H. Moon, H. Kwon, G. Lee, D. Yu, J. Choi, J. Park, S. J. Kim, and S. Yoo, Adv. Mater. Technol. 4, 1800332 (2019).
5 J. Zhu, J. Li, Q. Zhong, H. Wang, L. Huang, F. Fontein, L. Hu, R. Liu, H. Fuchs, W. Wang, Y. Wang, and L. Chi, Small Methods 3, 1800508 (2019).
6 J. H. Han, D. Kim, T.-W. Lee, E. G. Jeong, H. S. Lee, and K. C. Choi, ACS Photonics 5, 1891 (2018).
7 J. Zhu, F. Fontein, H. Wang, Q. Zhong, C. Li, J. Li, B. Wang, L. Liao, Y. Wang, L. Huang, H. Fuchs, W. Wang, and L. Chi, Mater. Chem. Front. 1, 2606 (2017).
8 W.-J. Joo, J. Kyoung, M. Esfandyarpour, S.-H. Lee, H. Koo, S. Song, Y.-N. Kwon, S. H. Song, J. C. Bae, A. Jo, M.-J. Kwon, S. H. Han, S.-H. Kim, S. Hwang, and M. L. Brongersma, Science 370, 459 (2020).
9 C. Kim, K. Kim, O. Kwon, J. Jung, J. K. Park, D. H. Kim, and K. Jung, J. Soc. Inf. Disp. 28, 668 (2020).
10 C. Murawski and M. C. Gather, Adv. Opt. Mater. 9, 2100269 (2021).
11 J. H. Kwon, Inf. Disp. 29, 12 (2013).
12 J.-J. Lih, C.-I. Chao, and C.-C. Lee, J. Soc. Inf. Disp. 15, 3 (2007).
13 양지혜, 박세영, 곽동길, 강문성, 인포메이션 디스플레이 22, 3 (2021).
14 이승민, 김상원, 최홍수, 기계저널 : 대한기계학회 57, 42 (2017).
15 T. Fang, F. Zhang, S. Yuan, H. Zeng, and J. Song, InfoMat. 1, 211 (2019).
16 H. W. Park, K.-Y. Choi, J. Shin, B. Kang, H. Hwang, S. Choi, A. Song, J. Kim, H. Kweon, S. Kim, K.-B. Chung, B. Kim, K. Cho, S.-K Kwon, Y.-H. Kim, M. S. Kang, H. Lee, and D. H. Kim, Adv. Mater. 31, 1901400 (2019).
17 J. S. Park, J. Kyhm, H. H. Kim, S. Jeong, J. Kang, S. E. Lee, K.-T. Lee, K. Park, N. Barange, J. Han, J. D. Song, W. K. Choi, and I. K. Han, Nano Lett. 16, 6946 (2016).
18 Y.-Q. Zheng, Y. Liu, D. Zhong, S. Nikzad, S. Liu, Z. Yu, D. Liu, H.-C. Wu, C. Zhu, J. Li, H. Tran, J. B.-H. Tok, and Z. Bao, Science 373, 88 (2021).
19 K. Sun, D. Tan, X. Fang, X. Xia, D. Lin, J. Song, Y. Lin, Z. Liu, M. Gu, Y. Yue, and J. Qiu, Science 375, 307 (2022).
20 S. Krotkus, F. Ventsch, D. Kasemann, A.A. Zakhidov, S. Hofmann, K. Leo, and M. C. Gather, Adv. Opt. Mater. 2, 1043 (2014).
21 I. L. Medintz, H. T. Uyeda, E. R. Goldman, and H. Mattoussi, Nat. Mater. 4, 435 (2005).
22 V. R. Manfrinato, D. D. Wanger, D. B. Strasfeld, H.-S. Han, F. Marsili, J. P. Arrieta, T. S. Mentzel, M. G. Bawendi, and K. K. Berggren, Nanotechnology 24, 125302 (2013).
23 M. Shirayama, M. Kato, T. Miyadera, T. Sugita, T. Fujiseki, S. Hara, H. Kadowaki, D. Murata, M. Chikamatsu, and H. Fujiwara, J. Appl. Phys. 119, 115501 (2016).
24 C. Zou, C. Chang, D. Sun, K. F. Böhringer, and L. Y. Lin, Nano Lett. 20, 3710 (2020).
25 D. Liu, K. Weng, S. Lu, F. Li, H. Abudukeremu, L. Zhang, Y. Yang, J. Hou, H. Qiu, Z. Fu, X. Luo, L. Duan, Y. Zhang, H. Zhang, and J. Li, Sci. Adv. 8, eabm8433 (2022).
26 S. X. Cai, D. J. Glenn, M. Kanskar, M. N. Wybourne, and J. F. W. Keana, Chem. Mater. 6, 1822 (1994).
27 R.-Q. Png, P.-J. Chia, J.-C Tang, B. Liu, S. Sivaramakrishnan, M. Zhou, S.-H. Khong, H. S. O. Chan, J. H. Burroughes, L.-L. Chua, R. H. Friend, and P. K. H. Ho, Nat. Mater. 9, 152 (2010).
28 J. Yang, M. Lee, S. Y. Park, M. Park, J. Kim, N. Sitapure, D. Hahm, S. Rhee, D. Lee, H. Jo, Y. H. Jo, J. Lim, J. Kim, T. J. Shin, D. C. Lee, K. Kwak, J. S. Kwon, B. Kim, W. K. Bae, and M. S. Kang, Adv. Mater. 2205504 (2022).
29 M. J. Kim, M. Lee, H. Min, S. Kim, J. Yang, H. Kweon, W. Lee, D. H. Kim, J.-H. Choi, D. Y. Ryu, M. S. Kang, B. Kim, and J. H. Cho, Nat. Commun. 11, 1 (2020).
30 W. Jang, M. Lee, H. Kweon, H. W. Park, J. Yang, S. Kim, H. Jo, C. Lee, J. H. Cho, K. Kwak, D. H. Kim, B. Kim, and M. S. Kang, ACS Photonics 8, 2519 (2021).
31 D. Hahm, J. Lim, H. Kim, J.-W. Shin, S. Hwang, S. Rhee, J. H. Chang, J. Yang, C. H. Lim, H. Jo, B. Choi, N. S. Cho, Y.-S Park, D. C. Lee, E. Hwang, S. Chung, C.-m Kang, M. S. Kang, and W. K. Bae, Nat. Nanotechnol. 17, 952 (2022).
32 H.-G. Rhee and Y.-W. Lee, Optics Express 18, 1734 (2010).
33 Y.-G. Kim, N. N. H. Anh, H.-G. Rhee, and Y.-S. Ghim, J. Korean Soc. Precis. Eng. 36, 1003-1007 (2019).   DOI
34 C. Yun, J. W. Han, M. H. Kang, Y. H. Kim, B. Kim, and S. Yoo, ACS Appl. Mater. Interfaces 11, 47143 (2019).
35 X. Huang, Q. Guo, D. Yang, X. Xiao, X. Liu, Z. Xia, F. Fan, J. Qiu, and G. Dong, Nat. Photonics 14, 82 (2020).
36 K. Sun, D. Tan, X. Fang, X. Xia, D. Lin, J. Song, Y. Lin, Z. Liu, M. Gu, Y. Yue, and J. Qiu, Science 375, 307 (2022).