Browse > Article

Atomic Layer Deposition for Displays Applications  

Choe, Dong-Won (한양대학교 신소재공학부)
Park, Jin-Seong (한양대학교 신소재공학부)
Publication Information
Information Display / v.14, no.5, 2013 , pp. 12-22 More about this Journal
Keywords
Citations & Related Records
연도 인용수 순위
  • Reference
1 Y. Q. Fu, J. K. Luo, X. Y. Du, A. J. Flewitt, Y. Li, G. H. Markx, A. J. Walton, W.I. Milne Sensors and Actuators B: Chemical 143 606 (2010)   DOI
2 T. Suntola, Mater. Sci. Rep., 4 261 (1989).   DOI
3 J. S. Park, W-J. Maeng, H. S. Kim and J-S. Park, Thin Solid Film 520 1679 (2012).   DOI
4 J-S. Park, H. Kim, and I. D. Kim, J. Electroceram. DOI 10.1007/s10832-013-9858-0 (2013)
5 Q. Cao and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21 29 (2009)   DOI
6 J-S. Park, J. K. Jeong, H-J. Chung, Y-G. Mo, and H. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 92 072104 (2008)   DOI
7 D. Kang, H. Lim, C. Kim, I. Song, J. Park, Y. Park, and J. G. Chung, Appl. Phys. Lett. 90 192101 (2007)   DOI
8 S. H. K. Park, M-K. Ryu, H. Oh, C-S. Hwang, J-H. Jeon, S-M. Yoon, JVST B 31 020601 (2013)
9 S-I. Kim, S. W. Kim, C. J. Kim, and J-S. Park, J. Electrochem. Soc. 158 H115 (2011)   DOI
10 J. Lee, J-S. Park, Y. S. Pyo, D. B. Lee, E. H. Kim, D. Stryakhilev, T. W. Kim, D. U. Jin, and Y-G. Mo, Appl. Phys. Lett. 95 123502 (2009)   DOI
11 J. K. Jeong, H. W. Yang, J. H. Jeong, Y-G. Mo, and H. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 93 123508 (2008)   DOI
12 J-S. Park, H. Chae, H. K. Chung, and S. I. Lee, Semicond. Sci. Technol. 26 034001 (2011)   DOI
13 P. E. Burrows et al. Proc. SPIE 75 4105 (2001)
14 A. S. Silva Sobrinho, G. Czeremuszkin, M. Latrache, and M. R. Wertheimer, J. Vac. Sci. Technol. A 18 149 (2000)   DOI
15 A. G. Erlat, B. M. Henry, J. J. Ingram, D. B. Mountain, A. McGuigan, R. P. Howson, C. R. M. Grovenor, G. A. D. Briggs, and Y. Tsukahara, Thin Solid Films 388 78 (2001)   DOI
16 D-W. Choi, S-J. Kim, J. H. Lee, K-B. Chung, J-S. Park, Curret Applied Physics 12 S19 (2012)   DOI
17 J. Meyer, P. Gorn, F. Bentram, S. Hamwi, T. Winkler, H-H. Johannes, T. Weimann, P. Hinze, T. Ridel,and W. Kowalsky, Adv. Mater. 21 1845 (2009)   DOI
18 A. A. Dameron, S. D. Davidson, B. B. Burton, P. F. Carcia, R. S. Mclean, and S. M. George, J. Phys. Chem. C. 112 4573 (2008)
19 M. Park, S. Oh, H. Kim, D. Jung, D-W. Choi, J-S. Park, Thin Solid Films 546 153 (2013).   DOI
20 T-H. Jung, J-S. Park, D-H. Kim, Y. Jeong, S-G. Park, and J-D. Kwon, J. Vac. Sci. Technol. A 31 01A124 (2013).
21 W. J. Maeng, J-W. Lee, J. H. Lee, K-B. Chung, and J-S. Park, J. Phys. D: Appl. Phys. 44 445305 (2011).   DOI
22 S. C. Gong, J. G. Jang, H. J. Chang, J-S. Park, Synthetic Metals 161 823 (2011).   DOI
23 W. J. Maeng and J-S. Park, J. Electroceram. DOI 10.1007/s10831-013-9848-2 (2013).