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디스플레이 노광장비를 대체하는 임프린트 장비기술  

Jeong, Chang-Ho (디엠에스 연구소)
Yang, Jae-Yeong (디엠에스 연구소)
Lee, Jin-Hyang (디엠에스 연구소)
Choe, Jeong-Uk (디엠에스 연구소)
Kim, Deok-Su (디엠에스 연구소)
Park, Chun-Seong (디엠에스 연구소)
Publication Information
Information Display / v.10, no.5, 2009 , pp. 33-38 More about this Journal
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Times Cited By KSCI : 1  (Citation Analysis)
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1 S.Y. Chou, P.R. Krauss and P.J. Renstrom, J. Vac. Sci. Tech. B., 14(6), 4129-4133 (1996)   DOI   ScienceOn
2 J. Haisma and M. Verheijen and K. Heuvel, J. Vac. Sci. Tech. B., 14(6), 4124-4128 (1996)   DOI   ScienceOn
3 이희철, 한국정보디스플레이학회지, 8권, 6호, 8-12 (2007)
4 S.Y. Chou, P.R. Krauss and P.J. Renstrom, Science 272(5258), 85-87 (1996)   DOI   ScienceOn