1 |
F. Laermer and A. Schilp: U.S. Patent 5501893 (1996).
|
2 |
M. S. Yoon, J. Microelectron. Pack. Soc. 16, 1 (2009).
|
3 |
I. U. Abhulimen, S. Polamreddy, S. Burkett, L. Cai, and L. Schaper, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1762 (2007).
DOI
ScienceOn
|
4 |
A. A. Ayon, R. Braff, C. C. Lin, H. H. Sawin, and M. A. Schmidt, J. Electrochem. Soc. 146, 339 (1999).
DOI
|
5 |
K. S. Kim, Y. C. Lee, J. H. Ahn, J. Y. Song, C. D. Yoo, and S. B. Jung, Kor. J. Met. Mater. 48, 1028 (2010).
DOI
ScienceOn
|
6 |
K. S. Chen, A. A. Ayon, X. Zhang, and S. M. Spearing, IEEE J. Microelectromech. Syst. 11, 264 (2002).
DOI
ScienceOn
|
7 |
R. Zhou, H. Zhang, Y. Hao, and Y. wang, J. Micromech. Microeng. 14, 851 (2004).
DOI
ScienceOn
|
8 |
Y. Tan, R. Zhou, H. Zhang, G. Lu, and Z. Li, J. Micromech. Microeng. 16, 2570 (2006).
DOI
ScienceOn
|
9 |
B. E. Volland, T. Ivanov, and I. W. Rangelow, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3111 (2002).
DOI
ScienceOn
|
10 |
S. Rauf and P. L. G. Ventzek, J. Vac. Sci. Technol. A 20, 14 (2002).
|
11 |
Y. -J. T. Lii and J. Jorne, J. Electrochem. Soc. 137, 2837 (1990).
DOI
|
12 |
V. S. Smentkowski, Prog. Surf. Sci. 64, 58 (2000).
|
13 |
H. Yabe, A. Yuuki, and Y. Matsui, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 2873 (1991).
DOI
|
14 |
B. E. Volland and I. W. Rangelow, Microelectron. Eng. 83, 1174 (2006).
DOI
ScienceOn
|
15 |
D. Zhang and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 524 (2001).
DOI
ScienceOn
|
16 |
M. Mozetic and A. Zalar, Vacuum 71, 233 (2001).
|
17 |
M. A. Golub and T. Wydeven, Poly. Deg. Stab. 22, 325 (2001).
|
18 |
D. S. Lee, Ph. D. Thesis, KAIST, Daejeon (2009).
|
19 |
K. Ninomiya, K. Suzuki, S. Nishimatsu, and O. Okada, J. Appl. Phys 58, 1177 (1985).
DOI
|
20 |
M. J. Vasile and F. A. Stevie, J. Appl. Phys. 53, 3799 (1982).
DOI
ScienceOn
|
21 |
D. Humbird and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 96, 791 (2004).
DOI
ScienceOn
|
22 |
J. L. Mauer, J. S. Logan, L. B. Zielinski, and G. S. Schwartz, J. Vac. Sci. Technol. 15, 1734 (1978).
DOI
ScienceOn
|
23 |
J. W. Coburn, H. F. Winters, and T. J. Chuang, J. Appl. Phys. 48, 3532 (1977).
DOI
ScienceOn
|
24 |
Y. Y. Tu, T. J. Chuang, and H. F. Winters, Phys. Rev. B 23, 823 (1981).
DOI
|