Development of Micro Turbine based on MEMS Technology |
전병선
(서울대학교 기계항공공학부)
박건중 (서울대학교 기계항공공학부) 민홍석 (서울대학교 재료공학부) 김세준 (서울대학교 기계항공공학부) 송성진 (서울대학교 기계항공공학부) 주영창 (서울대학교 재료공학부) 민경덕 (서울대학교 기계항공공학부) |
1 | Seung Jin Song, Kyoung Doug Min, Young Chang Joo, and Seung Mun You, 'Micro Power System Development,' Kyoto Seoul Tsinghua Three Asian University Thermal Engineering Conference, 2001, pp.125-130 |
2 | Mehra, A, Ayon, Arturo A, Waitz, Ian A, and Schmidt, Martin A, 'Microfabrication of high-temperature silicon devices using wafer bonding and deep reactive ion etching,' Journal of microelectromechanical systems, 1999, Vol.8, No.2, pp.152-160 DOI ScienceOn |
3 | 박건중, 전병선, 민홍석, 송성진, 민경덕, 주영창, '마이크로 파워 시스템의 개발,' 2001 유체기계 연구개발 발표회 논문집, pp.381-386 |
4 | Ayon, A A, Lin, C. C., Braff, R, Schmidt, M. A, and Sawin, H H, 'Characterization of a Time Multiplexed Inductively Coupled Plasma Etcher,' Journal of Electrochem. Soc., 1999, Vol.146, pp.339-349 |
5 | Ehrich, F. F., Jacobson, S. A, 'Development of High-speed Gas Bearings for HighPower- Density Micro-Devices,' ASME Turbo Expo 2001, 2001-GT-0478 |
6 | Jacobson, S. A, 'Aerothermal Challenges in the Design of a Microfabricated Gas Turbine Engine,' AlAA-GG-2545 |