1 |
S. K. Park, J. B. Kim, and H. C. Kim, J. KSDET, 8, 59 (2009).
|
2 |
H. Mao, D. Wu, W. Wu, J. Xu, and Y. Hao, Nanotechnol., 20, 445304 (2009).
DOI
ScienceOn
|
3 |
S. Kim, C. Delker, P. Chen, C. Zhou, S. Ju, and D. B. Janes, Nanotechnol., 21, 145207 (2010).
DOI
ScienceOn
|
4 |
D. Hayashi and K. Kadota, Japan. J. Appl. Phys., 38, 225 (1999).
DOI
|
5 |
H. M. Katsch, T. Sturm, E. Quandt, and H. F. Dobele, Plasma Sources Sci. Technol., 9, 323 (2000).
DOI
ScienceOn
|
6 |
M. W. Kiehlbauch and D. B. Graves, J. Vac. Sci. Technol. A, 21, 660 (2003).
|
7 |
J. T. Gudmundsson, J. Phys. D : Appl. Phys., 37, 2073 (2004).
DOI
ScienceOn
|
8 |
H. C. Kim and V. I. Manousiouthakis, J. Vac. Sci. Technol., A, 16, 2162 (1998).
DOI
ScienceOn
|
9 |
H. C. Kim, Y. T. Sul, and V. I. Manousiouthakis, IEEE Trans. Plasma. Sci., 32, 399 (2004).
DOI
ScienceOn
|
10 |
W. L. Morgan and B. M. Penetrante, Comput. Phys. Commun., 58, 127 (1990).
DOI
ScienceOn
|
11 |
A. V. Phelps, JILA Information Center Report No. 28, University of Colorado, Boulder (1985).
|
12 |
E. Krishnakumar and S. K. Srivastava, Int. J. Mass Spectrom. Ion Processes, 113, 1 (1992).
DOI
ScienceOn
|
13 |
D. Rapp and D. D. Briglia, J. Chem. Phys., 43, 1480 (1965).
DOI
|
14 |
R. R. Laher and F. R. Gilmore, J. Phys. Chem. Ref. Data, 19, 277 (1990).
DOI
|
15 |
M Mcfarland, D. L. Albritton, F. C. Fehsenfeld, E. E. Ferguson, and A. L. Schmeltekopf, J. Chem. Phys., 59, 6620 (1973).
DOI
|
16 |
R. E. Olson, J. R. Peterson, and J. Moseley, J. Chem. Phys., 53, 3391 (1970).
DOI
|
17 |
R. M. Snuggs, D. J. Volz, J. H. Schummers, D. W. Martin, and E. W. Mcdaniel, Phys. Rev. A: At., Mol., Opt. Phys., 3, 477 (1971).
DOI
|
18 |
F. C. Fehsenfeld, A. L. Schmeltekopf, H. I. Schiff, and E. E. Ferguson, Planetary and Space Science, 15, 373 (1967).
DOI
ScienceOn
|
19 |
F. C. Fehsenfeld, E. E. Ferguson, and A. L. Schmeltekopf, J. Chem. Phys., 45, 1844 (1966).
DOI
|
20 |
W. H. Aberth and J. R. Peterson, Phys. Rev. A: At., Mol., Opt. Phys., 11, 158 (1970).
|
21 |
F V. A. Feoktistov, D. V. Lopaev, K. S. Klopovsky, and O. B. Popovicheva, J. Nucl. Mater., 200, 309 (1993).
DOI
ScienceOn
|
22 |
K. Masek, L. Laska, and T. Ruzicka, Czech. J. Phys. Sec. B, B28, 1321 (1978).
|
23 |
F. K. Schofield, Planetary and Space Science, 15, 643 (1967).
DOI
ScienceOn
|
24 |
M. Vialle, M. Touzeau, G. Gousset, and C. M. Ferreira, J. Phys. D: Appl. Phys., 24, 301 (1991).
DOI
ScienceOn
|
25 |
Y. Ichikawa, R. L. C. Wu, and T. Kaneda, J. Appl. Phys., 67, 108 (1990).
DOI
|
26 |
H. W. Ellis, R. Y. Pai, E. W. McDaniel, E. A. Mason, and L. A. Viehland, Atomic Data and Nuclear Data Tables, 17, 177 (1976).
DOI
|
27 |
I. G. Kouznetsov, A. J. Lichtenberg, and M. A. Lieberman, J. Appl. Phys., 86, 4142 (1999).
DOI
|