1 |
A. Lauwers, J. A. Kittl, M. J. H. Van Dal, O. Chamirian,M. A. Pawlak, M. de Potter, R. Lindsay, T. Raymakers,X. Pages, B. Mebarki, T. Mandrekar and K. Maes, Mater. Sci. Eng. B, 114-115, 29 (2004).
DOI
ScienceOn
|
2 |
K. Yoon and O. Song, Kor. J. Mater. Res., 18(1), 5(2008) (in Korean).
DOI
ScienceOn
|
3 |
H. Iwai, T. Ohguro and S. -I. Ohmi, Microelectron. Eng.,60, 157 (2002).
DOI
ScienceOn
|
4 |
W. L. Yang, W. -F. Fa, H. C. You, K. -L. Ou, T. F. Leiand C. -P. Chou, IEEE T. Electron. Dev, ED-49(11),1947 (2002).
|
5 |
F. Braud, J. Torres, J. Palleau, J. L. Mermet and M. J.Mouche, Appl. Surf. Sci., 91, 251 (1995).
DOI
ScienceOn
|
6 |
M. Spindler, S. B. Menzel, C. Eggs, J. Thomas, T.Gemming and J. Eckert, Microelectron. Eng., 85, 2055(2008).
DOI
ScienceOn
|
7 |
S. Lee and J. Lee, Kor. J. Mater. Res., 14(4), 246 (2004)(in Korean).
DOI
ScienceOn
|
8 |
D. Z. Chi, D. Mangelinck, A. Z. Zuruzi, A. S. W. Wongand S. K. Lahiri, J. Electron. Mater., 30(12), 1483 (2001).
DOI
|
9 |
Y. Setiawan, P. S. Lee, C. W. Tan and K. L. Pey, Thin Solid Films, 504, 153 (2006).
DOI
ScienceOn
|
10 |
K. -M. Yin, L. Chang, F. -R. Chen, J. -J. Kai, C. -C.Chiang, P. Ding, B. Chin, H. Zhang and F. Chen, Thin Solid Films, 388, 15 (2001).
DOI
ScienceOn
|
11 |
N. Mattoso, J. Mater. Sci., 30, 3242 (1995).
DOI
|
12 |
W. Gao, H. Gong, J. He, A. Thomas, L. Chan and S. Li,Mater. Lett., 51, 78 (2001).
DOI
ScienceOn
|
13 |
C. -C. Wang, H. -H. Lin and M. -C. Chen, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 5997 (2004).
DOI
|
14 |
J. -J. You and K. -S. Bae, Kor. J. Mater. Res., 17(9), 463(2007) (in Korean).
DOI
ScienceOn
|
15 |
J. -H. Lin, J. -H. Lee, C. -S. Hsu and J. -S. Fang, J. Electron. Mater., 38(11), 2251 (2009).
DOI
|
16 |
C. Zhao, Zs. Tokei, A. Haider and S. Demuynck,Microelectron. Eng., 84, 2669 (2007).
DOI
ScienceOn
|
17 |
C. Zhao, J. Y. Ahn, N. Horiguchi, S. Demuynck and Zs.Tokei, Microelectron. Eng., 85, 2009 (2008).
DOI
ScienceOn
|
18 |
M. Zhou, Y. Zhao, W. Huang, B. -M. Wang, G. -P. Ru,Y. -L. Jiang, R. Liu and X. -P. Qu, Microelectron. Eng.,85, 2028 (2008).
DOI
ScienceOn
|