1 |
T. G. Chung, Y. H. Kim and J. G. Na, J. Kor. Inst. Met.
& Mater., 29(11), 1097 (1991).
과학기술학회마을
|
2 |
K. H. Hwang, K. I. Lee, S. K. Joo and T. Kang, J. Kor.
Cryst. Growth & Cryst. Tech., 1(2), 80 (1991).
|
3 |
S. M. Sze, VLSI Technology, 2nd Ed, p. 373, McGraw
Hill, USA (1988).
|
4 |
G. F. McGuire, Semiconductor Materials and Process
Handbook, p. 587, Noyes Publication, (1988).
|
5 |
E. J. Lee and J. S. Kim, Journal of the Institute of Industrial
Technology, 6(2), 11 (1998) (ISSN : 1229-1773).
|
6 |
J. J. Kim and M. S. Kang, Hwahak Konghak, 39(6), 721
(2001).
|
7 |
B. S. Min, W. S. Chung and I, G, Kim, J. Kor. Inst. Met.
& Mater., 40(12), 12 (2002).
|
8 |
A. Ibanez and E. Fatas, Surf. Coating. Tech., 191, 7
(2005).
DOI
ScienceOn
|
9 |
T. X. Liang, Y. Q. Liu, Z. Q. Fu, T. Y. Luo and K. Y.
Zhang, Thin Solid Films, 473, 247 (2005).
DOI
ScienceOn
|
10 |
Y. J. Song, J. H. Seo, Y. S. Lee and S. K. Rha, Kor. J.
Mater. Res., 19(6), 344 (2009) (in Korean).
과학기술학회마을
DOI
ScienceOn
|
11 |
H. J. Kang, B. N. Park, S. J. Park and S. Y. Choi, Journal
of the Institute of Electronic Technology, 23, 8, (2003)
(ISSN : 1225-214X).
|
12 |
P. V. Brande and R. Winand, Surf. Coating. Tech., 52, 1
(1992).
DOI
ScienceOn
|
13 |
Z. Zhou and T. J. O’Keefe, J. Appl. Electrochem., 28,
461 (1998).
DOI
ScienceOn
|
14 |
J. J. Yang, Y. L. Huang and K. W. Xu, Surf. Coating.
Tech., 201, 5574 (2007).
DOI
ScienceOn
|
15 |
T. S. Kuan, C. K. Inoki, G. S. Oehrlein, K. Rose, Y. P.
Zhao, G. C. Wang, S. M. Rossnagel, and C. Cabral,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 612, D7.1.1 (2000), ed. K.
Maex, Y-C. Joo, G.S. Oehrlein, S. Ogawa, J.T. Wetzel
(Materials Research Society, San Francisco, April, 2000).
DOI
|
16 |
H. S. Lee, H. S. Kim and C. M. Lee, J. Kor. Inst. Met.
& Mater., 39(8), 920 (2001).
과학기술학회마을
|
17 |
J. W. Choi, T. S. Oh and Y. H. Kim, J. Kor. Inst. Met.
& Mater., 35(5), 542 (1997).
과학기술학회마을
|
18 |
T. G. Woo, I. S. Park, H. W. Lee, M. H. Lee, E. K. Park,
Y. K. Hwang, and K. W. Seol, J. Kor. Inst. Met. & Mater,
45(7), 423 (2007).
과학기술학회마을
|
19 |
S. C. Park, K. J Min, K. H. Lee, Y. S. Jeong and Y. B.
Park, Kor. J. Mater. Res., 18(9), 486 (2008) (in Korean).
과학기술학회마을
DOI
ScienceOn
|