1 |
A. Iscbyashi, Y. Enomoto, H. Yamada, S. Takahashi and Kadornura, IEDM Tech, Dig., 38, 953 (2004)
DOI
|
2 |
K. Barrnak, G. A, Lucadamo, C, Cabral, Jr., C, Lavoie and J. M. E. Harper, J. Appl. Phys. 87, 2204 (2000)
DOI
ScienceOn
|
3 |
W. H. Lee, H. Y. Cho, B. S. Cho, J. Y. kim, Y-S Kim, W-G Jung, H. Kwon, J. H. Lee, C. M. Lee, P. J. Reucroft and J. G. Lee, J. Electrochem, Soc., 147, 3066 (2000)
DOI
|
4 |
W. H. Lee, H. Y. Cho, E. S. Cho, J. Y. kim, Y-S Kim, W-G Jung, H. Kwon, J. H. Lee, C. M. Lee, P. J. Reucroft and J. G. Lee, Appl. Phys, Lett., 77, 2192 (2000)
DOI
ScienceOn
|
5 |
P. J. Ding, W. A. Lanford, S. Hymes and S. P. Muraka, J. Appl. Phys. 74, 1331 (1993)
DOI
ScienceOn
|
6 |
W. H. Lee, H. Y. Cho, E. S. Cho, J. Y. kim, Y-S Kim, W-G Jung, H. Kwon, J. H. Lee, C. M. Lee, P. J. Reucroft and J. G. Lee, J. Vac, Sci, Technol., A18, 2972 (2000)
DOI
ScienceOn
|
7 |
J .Li, J. W. Mayer and E. G. Colgan, J. Appl. Phys. 70, 2820 (1991)
DOI
|
8 |
M. Hymes, S. P. Muraka, S. Shepard and W. A. Lanford, J. Appl. Phys. 71, 4623 (1992)
DOI
|
9 |
H. Ito, Y. Nakasaki, G. Minarnihaba, K. Suguro and H. Okano, Appl. Phys. Lett., 63, 934 (1993)
DOI
ScienceOn
|
10 |
W. A. Lanford, P. J. Ding, W. Wang, S. Hymes and S. P. muraka, Thin Solid Films, 262, 234 (1995)
DOI
ScienceOn
|
11 |
X. W. Lin and D. Pramanlk, Solid State Technol., Oct. 63 (1998)
|
12 |
S. Vaidya and A. K. Sinha, Thin Solid Films, 75, 253 (1981)
DOI
ScienceOn
|
13 |
P. J. Ding, W. Wang, W. A Lanford, S, Hymes and S. P. Muraka, Appl. Phys, Lett., 65, 1778 (1994)
DOI
ScienceOn
|
14 |
R. Liu, C. S. Pai and E. Martinez, Solid State Electron., 43, 1003 (1999)
DOI
ScienceOn
|
15 |
C. Mitman, M. M. Moslehi, A. Paranjpe, L. Velo and T. Omstesd, J. Vac, Sci. Technol., A 17, 1893 (1999)
DOI
|
16 |
P. Lin and M. Chen, Jpn, J. Appl. Phys. 38, 4863 (1999)
DOI
|
17 |
Y. J. Park, V. K. Andleigh and C, V. Thompson, J. Appl. Phys, 85, 3546 (1999)
DOI
ScienceOn
|
18 |
A. Jian, T. Kodas, R. Jairath and M. J. Hampden-Smith, J. Vac. Sci. Technol., B11, 2107 (1993)
DOI
ScienceOn
|
19 |
D. B. Knorr, D. P Tracy and K. P. Rodbell, Appl. Phys, Lett., 59, 3241 (1996)
DOI
|
20 |
D. B. Knorr and K. P. Rodbell, J. Appl. Phys., 79, 2409 (1996)
DOI
|
21 |
S. Menzel, S. Strehle, H. Wendrock, K. Wetzig, Appl. Sur. Sci., 252, 211 (2005)
DOI
ScienceOn
|