Finite Element Analysis of Thermal Deformations for Microaccelerometer Sensors using SOI Wafers |
김옥삼
(여수대학교 기계·자동차공학부)
구본권 (서울산업대학교 금형설계학과) 김일수 (목포대학교 기계공학과) 김인권 (조선대학교 항공우주공학과) 박우철 (삼척대학교 자동차공학과) |
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MEMS에서의 마이크로 가공기술
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Implementation of a MEMCAD System for Electrostatic and Mechanical Analysis of Complex Structures from Mask Descriptions
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Software Tools for Designers of Sensor and Actuator CAE Systems
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4 |
Silicon as a Mechanical Materials
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미소 기계-전자 집적시스템의 응용과 실제
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과학기술학회마을 |
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터널전류 효과를 이용한 미소가속도계의 마이크로머시닝 공정에서 온도분포 해석
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과학기술학회마을 |
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Analyses of Joule Heat and Stresses for Microaccelerometer Based on a Tunneling Current Concept
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トンネル電流原理に基づくマイクロ加速度センサ-のジユ-ル發熱および應力解析
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Impact of MEMS Technology on Society
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Micro-machining using a Focused Ion Beam
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DOI ScienceOn |
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A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer manufacturing Processes
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DOI |