1 |
C. C. Chen and C. H. Chen, Opt. Rev., 16, 416 (2009).
DOI
|
2 |
S. E. Lee, H. G. Lim, S. S. Lee, D. G. Choi, D. Lee, and S. U. Hong, Macromol. Res., 21, 916 (2013).
DOI
|
3 |
C. W. Lee, B. K. Song, J. Jegal, and Y. Kimura, Macromol. Res., 21, 1305 (2013).
DOI
|
4 |
W. C. Wask, Polymer, 19, 291 (1978).
DOI
|
5 |
A. Schirmeisen, D. Weiner, and H. Fuchs, Surf. Sci., 545, 155 (2003).
DOI
|
6 |
M. Arif Butt, A. Chughtai, J. Ahmad, R. Ahmad, U. Majeed, and I. H. Khan, J. Faculty. Eng. Tech., 15, 21 (2008).
|
7 |
D. Morihara, H. Hiroshima, and Y. Hirai, Microelectron. Eng., 86, 684 (2009).
DOI
|
8 |
S. Thoms, D. S. Macintyre, D. Moran, and I. Thayne, J. Vac. Sci. Technol. B, 22, 3271 (2004).
DOI
|
9 |
H. C. Scheer, H. Schulz, T. Hoffmann, and C. M. Sotomayer Torres, J. Vac. Sci. Technol. B, 16, 3927 (1998).
|
10 |
T. Bailey, B. J. Choi, M. Colburn, M. Meissl, S. Shaya, J. G. Ekerdt, S. V. Sreenivasan, and C. G. Willson, J. Vac. Sci. Technol. B, 18, 3575 (2000).
|
11 |
Y. Hirai, N. Takagi, S. Harada, and Y. Tanaka, Sens. Micromach. Soc., 122, 404 (2002).
|
12 |
H. Scheer, H. Schultz, T. Holffmann, and C. Torres, J. Vac. Sci. Technol. B, 16, 3917 (1998).
DOI
|
13 |
J. Jeong, Y. Sim, H. Sohn, and E. Lee, Microelectron. Eng., 75, 5299 (2006).
|
14 |
J. Haisma, M. Verheijen, and K. Heuvel, J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 4124 (1996).
DOI
ScienceOn
|
15 |
M. Austin, H. Ge, W. Wu, M. Li, and Z. Yu, Appl. Phys. Lett., 84, 5229 (2004).
|
16 |
S. Kim, S. Park, S. Moon, W. Lee, and K. Song, Polymer(Korea), 36, 536 (2012).
|
17 |
J. P. Cleveland and S. Manne, Rev. Sci. Instrum., 64, 403 (1993).
DOI
|
18 |
Y. Hirai, S. Yoshida, and Y. Tanaka, J. Vac. Sci. Technol. B, 21, 2765 (2003).
DOI
ScienceOn
|
19 |
G. Y. Jung, W. Wu, Z. Li, Y. Chen, S. Y. Wang, W. M. Tong, and R. S. Williams, Langmuir, 21, 1158 (2005).
DOI
ScienceOn
|
20 |
S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett., 67, 3114 (1995).
DOI
ScienceOn
|
21 |
D. Choi, J. Jeong, Y. Sim, E. Lee, W. Kim, and B. Bea, Langmuir, 21, 9390 (2005).
DOI
ScienceOn
|
22 |
Vladimir V. Tsukruk and Valery N. Bliznyuk, Langmuir, 14, 446 (1998).
DOI
|