1 |
M. Mehrcgancy, C. A. Zorman, N. Rajan, and C. H. Wu, IEEE, 86, 1594 (1998)
DOI
ScienceOn
|
2 |
P. Baldus, M. Jansen, and D. Spoorn, Science, 285, 699 (1999)
DOI
|
3 |
Y. Dong, C. Zorman, and P. Molian, J. Micromech. Microeng., 13, 680 (2003)
DOI
ScienceOn
|
4 |
T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, M. L. Yu, E. Kratschmer, H. S. Kim, K. Y. Lee, S. A. Rishton, and S. Zolgharnain, Microelectron. Eng., 32, 113 (1996)
DOI
|
5 |
I. Haisma, M. Verheijen, K. Heuvel, and J. Vac, Sci. Technol. B, 14, 4124 (1996)
DOI
ScienceOn
|
6 |
L. H. Nguyen, M. Straub, and M. Gu, Adv. Funct. Mater., 15, 209 (2005)
DOI
ScienceOn
|
7 |
H. Yang, P. Deschatelets, S. T. Brittain, and G. M. Whitesides, Adv. Mat., 13, 54 (2001)
DOI
ScienceOn
|
8 |
C. K. Fredrickson and Z. H. Fan, Lab on a Chip, 4, 526 (2004)
DOI
ScienceOn
|
9 |
K. Y. Suh, Y. S. Kim, and H. H. Lee, Adv. Mater., 13, 1386 (2001)
DOI
ScienceOn
|
10 |
L. Liew, Y. Liu, R. Luo, T. Cross, L. An, V. M. Bright, M. L. Dunn, J. W. Daily, and R. Raj, Sensor. Actuat. A, 95, 120 (2002)
DOI
ScienceOn
|
11 |
M. D. Levenson, Solid State Technol., 33, 6 (1996)
|
12 |
I. K. Sung, Christian, M. Mitchell, D. P. Kim, and Paul J. A. Kenis, Adv. Funct. Mater., 15, 1336 (2005)
DOI
ScienceOn
|
13 |
A. Kumar, H. A. Biebuyck. and G. M. Whitesides, Langmuir, 10, 1498 (1994)
DOI
ScienceOn
|
14 |
E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature, 376, 581 (1995)
DOI
ScienceOn
|
15 |
X. M. Zhao, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Adv. Mater., 8, 837 (1996)
DOI
ScienceOn
|
16 |
A. Y. Fu, C. Spence, A. Scherer, F. H. Arnold, and S. R. Quake, Nat. Biotechnol., 17, 1109 (1999)
DOI
ScienceOn
|
17 |
S. Roy, C. A. Zorman, M. Mehregany, and R. DeAnna, ANASYS Solutions, 1, 22 (1999)
|
18 |
D. Gao, M. J. Wijesundara, C. Carraro, R. T. Howe, and R. Maboudian, IEEE, 4, 441 (2004)
|
19 |
M. Cavallini, M. Murgia, and F. Biscarini, Mater. Sci. & Eng. C, 19, 275 (2002)
DOI
|