Synthesis of Photoresist Using Environmental-benign Supercritical ![]() ![]() ![]() |
허완수
(숭실대학교 환경·화학공학과)
이상원 (숭실대학교 환경·화학공학과) 박혜진 (숭실대학교 환경·화학공학과) 김장엽 (숭실대학교 환경·화학공학과) 홍유석 ((주)볼빅 연구개발센터) 유기풍 (서강대학교 화공생명공학과) |
1 | M. Takahashi, S. Takechi, Y. Kaimoto, I. Hanyu, N. Abe, and K. Nozaki, Proc SPIE-Int Soc. Opt. Eng., 422, 2438 (1995) |
2 | T. Tanaka, M. Moriganmi, and H. Oizumi, J. Appl. Phys., 2, 33, 1803 (1994) |
3 | C. K. Ober, A. H. Gabor, P. Gallagher-Wetmore, and R. D. Allen, Adv. Mater., 9, 1039 (1997) |
4 | C. K. Ober, A. H. Gabor, P. Gallagher-Wetmore, and R. D. Allen, Adv. Mater., 9, 1039 (1997) |
5 | J. M. DeSimone and Z. Guan, Macromolecules, 27, 5527 (1994) |
6 | K. Maeda, K. Nakano, S. Iwasa, E. Hasegawa, Proc SPIE-Int. Soc. Opt. Eng., 368, 3678 (1999) |
7 | R. D. Allen, R. Sooriyakumaran, J. Opitz, G. M. Wallraff, R. A. Dipietro, G. Breyta, D. C. Hofer, R. R. Kunz, S. Jayaraman, R. Shick, B. Goodall, U. Okoroanyanwu, and C. G. Wilson, Proc. SPIE-Int Soc. Opt. Eng., 334, 2724 (1996) |
8 | G. L. Weiber and C. K. Ober, Microelec. Eng., 65, 145 (2003) |
9 | J. M. DeSimone, X. Guan, and C. S. Elsbernd, Science, 257, 945 (1992) |
10 | J. C. Jung, C. K. Bok, and K. H. Bail, Proc SPIE-It Soc. Opt. Eng., 11, 3333 (1998) |
11 | Y. Jincao and M. A. Matthews, Ind. Eng. Chem. Res., 40, 24 (2001) |
12 | A. H. Gabor, L. C. Pruette, and C. K. Ober, Chem. Mater., 8, 2282 (1996) |
13 | T. Tanaka, M. Morigami, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys., 32, 6059 (1993) |
14 | N. Sundarajan, S. Yang, K. Ogino, S. Valiyaveettil, J. Wang, X. Zhou, and C. K. Ober, Chem. Mater., 12, 41 (2000) |
15 | M. D. Rahman, R. Dammel, M. Cook, and S. Ficner, SPIE, 3678, 1193 (1999) |
16 | J.-B. Kim, J.-j. Park, J.-H. J., and J.-Y. Kim, SPIE, 3678, 625 (1999) |
![]() |