1 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Lugstein, and E. Bertagonolli, J. Micromech. Microeng. 17, 1178 (2007).
DOI
|
2 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, and E. Bertagonolli, Nanotechnology 18, 245303 (2007).
DOI
|
3 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, and E. Bertagonolli, Nanotechnology 18, 265307 (2007).
DOI
|
4 |
J. Orloff, CRC Press, 549 (2009).
|
5 |
F. Ziegler, http://www.srim.org , (2003)
|
6 |
J. A. Sethian, Combridge University Press, (1999).
|
7 |
W. Moeller and M Posselt, Dresden, Forschungszentrum Rossendorf , (2002).
|
8 |
L. Frey, C. Lehrer, and H. Ryssel, Appl. Phys. A 76, 1017 (2003).
DOI
|
9 |
J. Pellerin, D. Griffis, and P. Rusell, J. Vac. Sci. B 8, 1949 (1990).
|
10 |
D. Santamore, K. Edinger, J. Orloff, and J. Melngailis, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2346 (1997).
DOI
|
11 |
A. A. Tseng, J. Micromech. Microeng. 14, R15 (2003).
|
12 |
S. Reyntjens and R. Puers, J. Micromech. Microeng. 11, 287 (2001).
DOI
|
13 |
R. Young, Vacuum 44, 353 (1993).
DOI
|
14 |
M. J. Vasile, Z N Nassar, and S. Liu, J, Vac, Sci, Technol B 15, 2350 (1997).
DOI
|
15 |
M. J. Vasile, J. Xie, and R. Nassar, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3085 (1999).
DOI
|
16 |
D. P. Adams and M. J. Vasile, J. Vac. Sci. Technol. B 24, 836 (2006).
DOI
|
17 |
D. P. Adams, M. J. Vasile, and T. M. Mayer, J. Vac. Sci Technol. B 24, 1766 (2006).
DOI
|
18 |
Y. Fu and N. K. A. Bryan, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 1672 (2004).
DOI
|
19 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, E. Bertagnolli, E. Platzgummer, and H. Loeschner, Int. J. Precis. Eng. Manuf., 12, 893 (2011).
DOI
|
20 |
H. B. Kim, Micromech. Microeng. 88, 3365 (2011).
|
21 |
H. B. Kim, Micromech. Microeng. 91, 14 (2012).
|
22 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, and E. Bertagonolli, Opt. Exp. 15, 9444 (2007).
DOI
|
23 |
I. V. Katardjiev, J. Vac. Sci. Technol. A6, 2434 (1998).
|