1 |
R. D. Purdr. Appl. Optics 3, 167 (1994).
|
2 |
V. Kudryashov, X. C. Yuan, W. C. Cheong, and K. Radhakrishnan, Microelectron. Eng. 67, 306 (2003).
|
3 |
S. Maruo, O. Nakamura, and S. Kawata, Opt. Lett. 22, 132 (1997).
DOI
|
4 |
V. A. Kudryashov and S. Lee, Microelectron. Eng. 57, 819 (2001).
|
5 |
K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, and H. Misawa. J. Non-Cryst. Solid. 352, 2390 (2006).
DOI
|
6 |
D. Resnick, S. V. Sreenivasan, and C. G. Willson, Material Today 8, 34 (2005).
|
7 |
C. M. Waits, A. Modafe, R. Ghodssi, and J. Micromech. Microeng. 13, 170 (2003).
DOI
|
8 |
J. Pietarinen, S. Siitonen, N. Tossavainen, J. Laukkanen, and M. Kuittinen, Microelectron. Eng. 83, 492 (2006).
DOI
|
9 |
C. Ochiai, O. Yavas, M. Takai, A. Hosono, and S. Okuda, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 933 (2001).
DOI
|
10 |
Y. Fu and N. K. A. Bryan, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 1672 (2004).
DOI
|
11 |
Y. Fu and N. K. A. Bryan, IEEE T. Semiconduct M. 15, 229 (2002).
DOI
|
12 |
D. P. Adams and M. J. Vasile, J. Vac. Sci. Technol. B 24, 836 (2006).
DOI
|
13 |
D. P. Adams, M. J. Vasile, and T. M. Mayer, J. Vac. Sci. Technol. B 24, 1766 (2006).
DOI
|
14 |
H. B. Kim, G. Hobler, A Steiger, A Lugstein, and E. Bertagonolli, Opt. Express 15, 9444 (2007).
DOI
|
15 |
H. B. Kim, Microelectron. Eng. 88, 3365 (2011).
DOI
|
16 |
H. B. Kim, Microelectron. Eng. 91, 14 (2012).
DOI
|
17 |
N. Matsunami, Y. Yamamura, Y. Itakawa, N. Itoh, Y. Kazumata, K. Miyagawa, K. Morita, and R. Shimizu. Nagoya University, IPPJAM-14. (1980).
|
18 |
R. Smith, S. J. Wilde, G. Carter, I. V. Katardjiev, and N. J. Nobes, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 579 (1986).
|
19 |
I. V. Katardjiev, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2434 (1988).
DOI
|
20 |
I. V. Katardjiev, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3222 (1989).
DOI
|
21 |
I. V. Katardjiev, G. Carter, M. J. Nobes, S. Berg, and H. O. Blom, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 61 (1993).
|
22 |
Solid works Manual http://www.solidworks.com. Dassault system (2008).
|
23 |
Wikipedia, http://en.wikipedia.org/wiki/STL_(file_format)
|
24 |
S. Cabrini, C. Liberale, D. Cojoc, A. Carpentiero, M. Prasciolu, S. Mora, V. Degiorgio, F. Angelis, and E. D. Fabrizio, Microelectron. Eng. 83, 804 (2006).
DOI
|
25 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Lugstein, E. Bertagonolli, and J. Micromech. Microeng. 17 1178 (2007).
DOI
|
26 |
H. B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, and E. Bertagonolli, Nanotechnology 18, 245303 (2007).
DOI
|
27 |
H. B. Kim, G. Hobler, A Steiger, A Lugstein, and E. Bertagonolli, Nanotechnology 18, 265307 (2007).
DOI
|
28 |
S. Lee and D. -G. Kim, Applied Science and Convergence Technology, 24, 162 (2015).
DOI
|
29 |
E. B. Cho, H. M. Kwon, H. S. Lee, and J.-S. Yeo, J. Kor. Vac. Soc. 22, 262 (2013).
DOI
|