1 |
J. Moyne and B. Schulze, IEEE Trans. Semi Manufac., 23, 221 (2010) [DOI: 10.1109/TSM.2010.2041294].
DOI
ScienceOn
|
2 |
K. H. Baek, Y. J. Jung, G. J. Min, C. J. Kang, H. K. Cho and J. T. Moon, J. Vac. Sci. Tech. B, 23, 125 (2005). [DOI: 10.1116/1/1839913]
DOI
ScienceOn
|
3 |
M. Nisha, K. J. Saji, R. S. Aijmaha, N. V. Joshy and M. K. Jayaraj, J. Appl. Phys. 99, 033304 (2006) [DOI: 10.1063/1.2171777].
DOI
ScienceOn
|
4 |
S. J. Hong and G. S. May, IEEE Trans. Ind. Elec. Soc. 52, 1063 (2005) [DOI: 10.1109/TIE.2005.851663].
DOI
ScienceOn
|
5 |
H. H. Yue, S. J. Qin, J. Wiseman and A. Toprac, J. Vac. Sci. Technol. A, 19, 66 (2001) [DOI: 10.1116/1.1331294].
DOI
ScienceOn
|
6 |
H. H. Yue, S. J. Qin, R. J. Markle, C. Nauert and M. Gatto, IEEE Trans. Semi. Manufac. 13, 374 (2000) [DOI: 10.1109/66.857948].
DOI
ScienceOn
|
7 |
D. A. White, D. Boning, S. W. Butler and G. G. Barna, IEEE Trans. Semi. Manufac. 10, 52 (1997) [DOI: 10.1109/66.554484].
DOI
ScienceOn
|
8 |
J. W. Coburn and M. Chen, J. Appl. Phys. 51, 3134 (1980) [DOI: 10/1063/1.328060].
DOI
ScienceOn
|
9 |
R. Chen, H. Huang, C. J. Spanos, and M. Catto, J. Vac. Sci. A, 14, 1901 (1996) [DOI: 10.1116/1.580357].
DOI
ScienceOn
|
10 |
V. Tarnovsky, P. Kurunczi, D. Rogozhnikov and K. Becker, Int. J. Mass Spectroscopy and Ion Processes, 128, 181 (1993) [DOI: 10.1016/0168-1176(93)87067-3].
DOI
ScienceOn
|