1 |
G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 87, 484 (2000) [DOI: 10.1063/1.371888].
DOI
ScienceOn
|
2 |
J. Zhu, Z. G. Liu and Y. Feng, J. Phys. D: Appl. Phys. 36, 3051 (2003) [DOI: 10.1088/0022-3727/36/23/028].
DOI
ScienceOn
|
3 |
J. Kim and K. Yong, J. Cryst. Growth 263, 442 (2004) [DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2003.12.009].
DOI
ScienceOn
|
4 |
S. Duenas, H. Castan, H. Garcia, J. Barbolla, K. Kukli, M. Ritala, and M. Leskela, Spanish Conference on Electron Devices (Taragonna, Spain 2005 Feb. 2-4) p. 45. [DOI: 10.1109/SCED.2005.1504302].
DOI
|
5 |
W. K. Kim, S. W. Kang, S. W. Rhee, N. I. Lee, J. H. Lee, and H. K. Kang, J. Vac. Sci. Technol. A 20, 2096 (2002) [DOI: 10.1116/1.1517998].
DOI
ScienceOn
|
6 |
J. Kim and K. Yong, J. Electrochem. Soc. 152, F45 (2005) [DOI: 10.1149/1.1869977].
DOI
ScienceOn
|
7 |
K. Yamamoto, S. Hayashi , M. Niwa, M. Asai , S. Horii, and H. Miya, Appl. Phys. Lett. 83, 2229 (2003) [DOI: 10.1063/1.1609246].
DOI
|
8 |
T. Yamaguchi, R. Iijima, T. Ino, A. Nishiyama, H. Satake, and N. Fukushima, IEDM Tech. Dig. 621 (2002) [DOI: 10.1109/IEDM.2002.1175916].
DOI
|
9 |
T. Yamaguchi, T. Ino, H. Satake, and N. Fukushima, 41st Annaul IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings (Dallas, TX 2003 Mar. 30-Apr. 4) p. 34. [DOI: 0.1109/RELPHY.2003.1197717].
DOI
|
10 |
M. R. Visokay, J. J. Chambers, A. L. P. Rotondaro, A. Shanware, and L. Colombo, Appl. Phys. Lett. 80, 3183 (2002) [DOI: 10.1063/1.1476397].
DOI
ScienceOn
|
11 |
P. Punchaipetch, G. Pant, M. A. Quevedo-Lopez, C. Yao, M. El- Bouanani, M. J. Kim, R. M. Wallace, and B. E. Gnade, IEEE J. Sel. Topics. Quantum Electron. 10, 89 (2004) [DOI: 10.1109/JSTQE.2004.824109].
DOI
ScienceOn
|
12 |
H. Watanabe, M. Saitoh, N. Ikarashi, and T. Tatsumi, Appl. Phys. Lett. 85, 449 (2004) [DOI: 10.1063/1.1767593].
DOI
ScienceOn
|
13 |
G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 89 5243 (2001) [DOI: 10.1063/1.1361065].
DOI
ScienceOn
|
14 |
H. D. Kim, Y. Roh, Y. Lee, J. E. Lee, D. Jung, and N. E. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 1347 (2004) [DOI: 10.1116/1.1743119].
DOI
ScienceOn
|
15 |
G. D. Wilk and R. M. Wallace, Appl. Phys. Lett. 74, 2854 (1999) [DOI: 10.1063/1.124036].
DOI
ScienceOn
|