A Study on Dissolved Ozone Decomposer in Ozonated Water for Semiconductor Process |
Moon, Se-Ho
(Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University)
Chai, Sang-Hoon (Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University) Son, Young-Su (Nano Convergence System Research Dept., KIMM) |
1 | 김한성, 차안정, 배재흠, 이호열, 이명진, 박병덕, "수계/준수계 세정제의 개발 및 전자부품세정공정 적용연구", Clean Technolgy, 제10권 제2호, 61-72쪽, 2004년 10월. |
2 | 채상훈, 손영수, "오존수를 이용한 감광막 제거 공정에 관한 연구", 전기전자재료학회 논문지, 제17권 제11호, 1143-1148쪽, 2004년 11월. |
3 | 손영수, 채상훈, "PR 제거공정 적용을 위한 오존수 생성기술 연구", 전자공학회 논문지, 제41권 SD편 제12호, 13-19쪽, 2004년 12월. |
4 | 문세호, 채상훈, "반도체/LCD PR 제거용 EC의 재이용 기술에 관한 연구", 전자공학회 논문지, 제46권 SD편 제10호, 25-30쪽, 2009년 10월. |