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A Study on Recycling Technology of EC for Semiconductor and LCD PR Stripping Process  

Moon, Se-Ho (Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University)
Chai, Sang-Hoon (Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University)
Publication Information
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD / v.46, no.10, 2009 , pp. 25-30 More about this Journal
Abstract
We have developed recycling technology of ethylen carbonate to use in photoresist stripping and cleaning process, which will be core processing technology for high performance and low price semiconductor and LCD fabrication. Using this technology, it is possible for semiconductor wafer and LCD planer to process more rapid and chip, and productivity will be improved.
Keywords
LCD;
Citations & Related Records
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