Design and Operating Characteristics of Cylindrical Linear Motor for Long Stroke Precision Stage |
An, Geuk-Sub
((주)성진하이메크 수원연구소)
Kim, Houng-Joong ((주)성진로얄모션) Ahn, Jin-Woo (경성대 메카트로닉스공학과) Koseki, Takafumi (토쿄대 대학원 공학계연구과) |
1 | 金弘中, 佐藤海二, 高林博文, 大橋健, 渡辺利彦, "大推 力化・高加減速化を実現するリニアドライブ技術", 平成 18年電気学会産業応用部門大会講演論文集[III], No. 3-S10-1, pp. III-3-III-6, 2006 |
2 | Pierre-Emmanuel Cavarce, Hamid Ben Ahmed, and Bernard Multon : "New multi-Rod linear Actuator for Direct-Drive, Wide Mechanical Bandpass Applications", IEEE Trans. Ind. Applicat., Vol. 39, No.4, pp.961-970, JULY/AUGUST 2003 DOI ScienceOn |
3 | Toru Shikayama, Ryuichi Oguro, Teruo Tsuji, "Thrust and Cogging Force Improvement on Inductor Linear Motor" IEEJ Trans IA, Vol. 123, No. 6, pp.746-753, 2003 DOI ScienceOn |
4 | 장석명, "리니어 모터 기술". 대한전기학회지 제48권, 제2호, pp. 4-8. 1999 |
5 | 고 임달호 박사 추모회 편저, "電磁에너지 변환기기의 해석과 응용", 한양대학교 출판원, 1997 |
6 | 産業用リニアモータの特性測定法と評価方法調査専門委 員会, "産業用リニアモータの特性測定法と評価方法" 日本電気学会技術報告 第1024号, pp. 22 2005 |
7 | 正田 英介, "リニアドライブ技術とその応用", オーム社, 1991 |
8 | 加山泰永, 牧野内進, "半導体露光装置のステージ技術", (日本)精密工学会 超精密位置決め専門委員会定例会講演 前刷集, No.2001-5,pp.1-8, 2001 |
9 | 松原厚, "IMTS, JIMTOFにおける位置決め技術の動向", (日本)精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演 前刷集, No.2006-5, pp.1-6, 2007 |
10 | 柴崎祐一, "半導体露光装置における配管レスステージの 実現", 機械設計, 50, 8, pp. 36-41, 2006 |
11 | 冨田良幸, "住友重機械の精密ステージ技術について ー 製品紹介とリニアモータ駆動系の駆動特性―",(日本)精 密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演前刷集, No.2005-4, pp.37-46, 2005 |
12 | 金弘中, 中津川潤之介, 酒井慶次郎, 柴田均, "高加速度直 線駆動装置(トンネルアクチュエータ)", (日本)応用磁気学会誌, Vol. 29, No. 3, pp.199-204, 2005 |