1 |
김동환, 윤세왕, '박막형 CdTe 태양전지' 전기전자재료, Vol. 11, No.8, pp. 60-64, 1998
과학기술학회마을
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2 |
D. R. Evans, Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials, 1st Edition, Heidelberg: Springer-Verlag, 2004
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3 |
조은철, 조영현, 김동섭, 이수홍, 지일환, '실리콘 태양전지의 개발현황', 전기전자재료, Vol. 8, No. 3, pp.362-371, 1995
과학기술학회마을
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4 |
서용진, 고필주, 박성우, 이강연, 이우선, '고집적 메모리 커패시터의 Vertical Sidewal Patterning을 위한 BTO 박막의 CMP 특성'. 대한전기학회논문지:전기물성.응용부문C,, Vol. 55, No.3, pp. 116-121, 2006
과학기술학회마을
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5 |
Nam-Hoon Kim, Sang-Hun Shin, Pil-Ju Ko, Woo-Sun Lee, 'Chemical mechanical polishing characteristics in (Bi,La)Ti3O12 damascene process for high-density ferroelectric memories', Thin Solid Films, Vol. 515, pp. 6456-6459, 2007
DOI
ScienceOn
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6 |
F. W. Preston, 'The theory and design of plate glass polishing machines', J. Soc. Glass Technol., Vol. 11, pp. 214-256, 1927
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김경해, 이준신, '결정질 실리콘 태양전지 연구개발 동향', 전기전자재료, Vol. 20, No.4, pp. 39-46, 2007
과학기술학회마을
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8 |
윤경훈, '박막 태양전지 기술개발 현황', 한국전기화학회, 전지기술심포지움 학술대회지, pp. 189-210, 2001
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유진수, Kumar Dhungel, 이준신, '태양전지 응용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 열처리 최적화', 대한전기학회논문지:전기물성.응용부문C, Vol. 55, No. 12, pp. 565-569, 2006
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이재형, 최성현, 이동진, 이종인, 양동건, 양계준, 이준신, '스퍼터 압력에 따른 태양전지용 CdTe 박막의 구조적, 광학성 특성', 한국전기전자재료학회, 추계학술대회 논문집, pp. 101-102, 2005
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최권우, 김남훈, 서용진, 이우선, '산화제 및 연마제 첨가를 통한 Nichel CMP 특성 개선 연구', 전기전자재료학회논문지, Vol. 18, No.7, pp. 605-609, 2005
과학기술학회마을
DOI
ScienceOn
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J. Hernandez, P. Wrschka, Y. Hsu, T.-S. Kuan, G. S. Oehrlein, H. J. Sun, D. A. Hansen, J. King, M. A. Fury, 'Chemical Mechanical Polishing of Al and Si02 Thin Films: The Role of Consumables,' Journal of The Electrochemical Society, Vol. 146, Issue 12, pp. 4647-4653, 1999
DOI
ScienceOn
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유진수, 문상일, 김경해, Suresh Dhungel, 이준신, '실리콘 태양전지 최적설계에 관한 연구', 대한전기학회논문지:전기물성.응용부문C, Vol. 53, No.4, pp. 187-191, 2004
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이재형, 이호열, 박용관, '보론 도핑에 따른 CdS 박막 및 CdS/CdTe 태양전지 특성,대한전기학회논문지:전기물성. 응용부문C, Vol. 48, No.8, pp. 563-569, 1999
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Nam-Hoon Kim, Min-Ho Choi, Sang-Yong Kim, Eui-Goo Chang, 'Design of experiment (DOE) method considering interaction effect of process parameters for optimization of copper chemical mechanical polishing (CMP) process,' Microelectronic Engineering, Vol. 83, Issue 3, pp. 506-512, 2006
DOI
ScienceOn
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정해원 이천, 신재혁, 신성호, 박광자, '스퍼터링에 의한 CdTe박막 제조조건이 CdTe/CdS 태양전지의 특성에 미치는 영향', 전기전자재료학회논문지, Vol. 10, No.9, pp. 930-937, 1997
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17 |
윤재호, 안병태, 윤경훈, '화합물 박막 태양전지 기술동향', 전기전자재료, Vol. 19, No.7, pp. 29-38, 2006
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최진영, 이임근, 정종진, 박성준, 이동윤, 김희제, '염료감응형 태양전지의 대면적화에 따른 셀 특성 연구', 한국신.재생에너지학회 춘계학술대회 논문집, pp, 189-191, 2005
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