Analysis of Electrical Property on Inductively Coupled Ar Plasma for Gas Pressure
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조주웅
(원광대 전자재료공학과)
이영환 (원광대 전자재료공학과) 김광수 (원광대 전자재료공학과) 허인성 (원광대 전자재료공학과) 최용성 (원광대 전기전자 및 정보공학부) 박대희 (원광대 전기전자 및 정보공학부) |
1 | D. O. Wharmby, 'Electrodeless lamps for lighting: a review', IEE Proceedings 140A, pp. 465-473, 1993 |
2 | B. P. Turner, M. G. Ury, and D. A. McLennan, 'Microwave excited sulfurlamp,' Paper QA2. 47th Annual Gaseous Electronics Conference (Gaithersburg, MD, USA), 1994 |
3 | F. C. Francis, 'Introduction to Plasma Physics And Controlled Fusion', Plenum Press, pp.10., 1984 |
4 | G. I. Babat, 'Electrodeless Discharge and some applied problems', J. IEE, vol.94, pt3, pp. 27-37, 1947 |
5 | 박철웅, '플라즈마 온도 측정에 관한 연구', 석사학위 논문, 서울대학교, 1987 |
6 | 홍상희, 주원태, 김동욱, 류지명, 허민, '산업용열플라즈마 발생기의 최적 설계 및 제작', 서울대학교 열플라즈마기술연구실 2차년도 연구보고서 2001 |
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