Optical E-H Transition Properties of Inductively Coupled Plasma with Ar Gas Pressure and RF Pourer
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허인성
(원광대학교 전기전자 및 정보공학부)
조주웅 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) 이영환 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) 김광수 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) 최용성 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) 박대희 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) |
1 | U. Chittka, 'Electrodes for gas discharge', Appied Surface Science, Vol.111, p.302, 1997 |
2 | D.O. Wharmby, 'Electrodeless lamps for lighting', IEE Proceedings A, Vol.140 Issue:6, Nov., p.465, 1993 |
3 | 林泉, 'フラズマ 工學', 朝倉書店, p.19, 1987 |
4 | F. Whitney, 'Measurements of Inductively Coupled RF Fluorescent Lamp Lumen Properties', Conference Record of the 1994 IEEE, Vol.3, p.1998, 1994 DOI |
5 | J. Amorim, B.S. Maciel, and J.P. Sudano, 'High-density plasma mode of an inductively coupled radio frequency discharge', J. Vac. Sci. Tech., B9, p.362, 1991 DOI |
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