A Research of Nozzle Spray System of Vertical Type Etcher |
Kim, Jum-Young
(Korea University of Technology and Education)
Joo, Kang-Wo (Korea University of Technology and Education) Yoon, Jong-Kook (Empower) Ryu, Sun-Joong (Samsung Electro Mechanics) Kim, Kwang-Sun (Korea University of Technology and Education) |
1 | 반도체일반과정 교재, 한국기술교육대학교 반도체장비기술교육센터, pp.85-88. |
2 | 유선중(2009), "다구찌 방법을 이용한 BGA 현상 공정용 수직 습식 장비의 공정 최적화", 한국진공학회지, 제 18권 제 4호, pp.310-317. |
3 | Patankar, S. V., "Numerical Heat Transfer and Fluid Flow", McGraw-Hill, New York, pp11-14, 1980. |
4 | 윤순현 외 5인(역), "Fundamentals of Fluid Mechanics", Fifth Edition, 학술정보, 2006 |
5 | 서지한(2007), 초소형 노즐 유동장에 관한 수치적 연구, 한국전산유체공학회지, 제 12권 제 4호, pp.38-43. |
6 | 한명신, 서지한, 명노신, 허환일, "Navier-Stokes CFD모델을 이용한 소형노즐 유동장 해석", 한국항공우주학회, 한국항공우주학회 2004년도 추계학술발표회 논문집(II) 2004.11, page(s): 699-702. |
7 | Star - CCM+ User Guide - Ver. 5.04. |