1 |
Chen-Fu, Chien.,Wang, j.k., Tzu-Ching, Chang., Wen- Chin Wu., "Economic analysis of 450mm wafer migration", International Symposium on Semiconductor Manufacturing, pp. 1-4, 2007.
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2 |
이종회,"반도체 장비 산업 현황 및 전망," 대한기계학회, 제40권, 제 9호, pp. 30-34, 2000.
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3 |
구준모, 정정열, 강용태, "대구경 웨이퍼 스핀코팅 공정 최적화 연구," 대한기계학회, 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집, pp. 1778-1781, 2009.
|
4 |
성학경, 김동일, 김성권, "반도체 WAFER CASSETTE HANDLING 용 MOBILE ROBOT SYSTEM," 한국자동제어학술회의, '94한국자동제어학술논문집, pp. 1-6, 1994.
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5 |
전혜영, 양학진, 김성근, "실험계획법과 신경망을 이용한 웨이퍼 이송 핸들러의 설계 방법," 한국정밀공학회, 2008년도 추계학술대회논문집, pp. 557-558, 2008.
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