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차세대 리소그래피 기술에 대한 전자빔 리소그래피의 응용
김성찬;신동훈;이진구;
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The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
, v.17, no.6, pp.3-10,
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전자빔 프로젝션 기술을 이용한 나노패터닝 기술 동향
김기범;
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The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
, v.17, no.6, pp.11-16,
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| 3 |
나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
김강현;김규태;
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The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
, v.17, no.6, pp.17-21,
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