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| 1 |
반도체/디스플레이 공정 플라즈마 기초와 응용
Jang, Hong-Yeong;
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The Korean Infomation Display Society
, v.12, no.5, pp.2-15,
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| 2 |
디스플레이 공정 플라즈마 진단 기술 동향
Kim, Yeong-Cheol;Kim, Yu-Sin;Kim, Jin-Yong;Jeong, Jin-Uk;
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The Korean Infomation Display Society
, v.12, no.5, pp.16-26,
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| 3 |
유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제
Ju, Jeong-Hun;
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The Korean Infomation Display Society
, v.12, no.5, pp.27-32,
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| 4 |
전기수력학 프린팅 기술 -마이크로/나노스케일 패터닝-
Byeon, Do-Yeong;
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The Korean Infomation Display Society
, v.12, no.5, pp.33-38,
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