Information Display (인포메이션 디스플레이)

The Korean Infomation Display Society (한국정보디스플레이학회)
권호 표지

플라즈마장비지능화연구단 소개 및 기술동향 분석

  • 윤정식 (한국핵융합에너지연구원, 플라즈마장비지능화연구단)
  • Published : 2024.04.30
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords

References

  1. A. Mesbah, D. В. Graves, J. Phys. D: Appl. Phys. 52, 30LT02-1-9 (2019)
  2. K. J. Kanarik et al.,Nature, 616, 707 (2023)
  3. S. Park et al., Plasma Phys. Controlled Fusion, 61, 014032 (2018)
  4. S. Park et al., Phys. Plasmas, 28, 1900030, (2019)
  5. 권득철, 정상영, 장원석, 임연호, "3D Logic Device 공정용 장비 전산모사 및 검증", 한국세라믹학회 추계학술대회 (2023)