Acknowledgement
본 연구는 세라믹전략기술개발사업(KPP23004)의 지원을 받아 수행되었습니다.
References
- S. J. Pearton, J. Yang, P. H. Cary, F. Ren, J. Kim, M. J. Tadjer, and M. A. Mastro, Appl. Phys. Rev., 5, 011301 (2018). doi: https://doi.org/10.1063/1.5006941
- H. H. Tippins, Phys. Rev., 140, A316 (1965). doi: https://doi.org/10.1103/PhysRev.140.A316
- M. A. Mastro, A. Kuramata, J. Calkins, J. Kim, F. Ren, and S. J. Pearton, ECS J. Solid State Sci. Technol., 6, P356 (2017). doi: https://doi.org/10.1149/2.0031707jss
- M. Ogita, N. Saika, Y. Nakanishi, and Y. Hatanaka, Appl. Surf. Sci., 142, 188 (1999). doi: https://doi.org/10.1016/S0169-4332(98)00714-4
- M. Fleischer and H. Meixner, Sens. Actuators, B, 13, 259 (1993). doi: https://doi.org/10.1016/0925-4005(93)85376-l
- R. Roy, V. G. Hill, and E. F. Osborn, J. Am. Chem. Soc., 74, 719 (1952). doi: https://doi.org/10.1021/ja01123a039
- A. T. Neal, S. Mou, R. Lopez, J. V. Li, D. B. Thomson, K. D. Chabak, and G. H. Jessen, Sci. Rep., 7, 13218 (2017). doi: https://doi.org/10.1038/s41598-017-13656-x
- M. Higashiwaki, K. Sasaki, H. Murakami, Y. Kumagai, A. Koukitu, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Semicond. Sci. Technol., 31, 034001 (2016). doi: https://doi.org/10.1088/0268-1242/31/3/034001
- A. Kuramata, K. Koshi, S. Watanabe, Y. Yamaoka, T. Masui, and S. Yamakoshi, Jpn. J. Appl. Phys., 55, 1202A2 (2016). doi: https://doi.org/10.7567/jjap.55.1202a2
- T. Oshima, T. Okuno, N. Arai, Y. Kobayashi, and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys., 48, 070202 (2009). doi: https://doi.org/10.1143/jjap.48.070202
- Y. Zhang, F. Alema, A. Mauze, O. S. Koksaldi, R. Miller, A. Osinsky, and J. S. Speck, APL Mater., 7, 022506 (2019). doi: https://doi.org/10.1063/1.5058059
- T. Oshima, T. Okuno, and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys., 46, 7217 (2007). doi: https://doi.org/10.1143/jjap.46.7217
- K. H. Kim, M. T. Ha, Y. J. Kwon, H. Lee, S. M. Jeong, and S. Y. Bae, ECS J. Solid State Sci. Technol., 8, Q3165 (2019). doi: https://doi.org/10.1149/2.0301907jss
- M. T. Ha, K. H. Kim, Y. J. Kwon, C. J. Kim, S. M. Jeong, and S. Y. Bae, ECS J. Solid State Sci. Technol., 8, Q3206 (2019). doi: https://doi.org/10.1149/2.0381907jss
- A. K. Mondal, R. Deivasigamani, L. K. Ping, M.A.S.M. Haniff, B. T. Goh, R. H. Horng, and M. A. Mohamed, ACS Omega, 7, 41236 (2022). doi: https://doi.org/10.1021/acsomega.2c04888
- Y. Cheng, C. Zhang, Y. Xu, Z. Li, D. Chen, W. Zhu, Q. Feng, S. Xu, J. Zhang, and Y. Hao, Mater. Today Commun., 29, 102766 (2021). doi: https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2021.102766
- M. T. Ha, K. H. Kim, Y. J. Shin, S. M. Jeong, and S. Y. Bae, Adv. Mater. Interfaces, 8, 2001895 (2021). doi: https://doi.org/10.1002/admi.202001895