인포메이션 디스플레이 (Information Display)

한국정보디스플레이학회 (The Korean Infomation Display Society)
권호 표지

포토리소그래피 기반 차세대 반도체 패턴 기술 및 고해상도 디스플레이로의 응용

  • 발행 : 2022.10.30
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드

참고문헌

  1. 곽정훈, 인포메이션 디스플레이 18, 20 (2017).
  2. D. Han, Y. Khan, K. Gopalan, A. Pierre, and A. C. Arias, Adv. Funct. Mater. 28, 1802986 (2018).
  3. K. Kim, G. Kim, B. R. Lee, S. Ji, S.-Y, Kim, B. W. An, M. H. Song, and J.-Ung. Park, Nanoscale 7, 13410 (2015).
  4. S. Kim, H. Moon, H. Kwon, G. Lee, D. Yu, J. Choi, J. Park, S. J. Kim, and S. Yoo, Adv. Mater. Technol. 4, 1800332 (2019).
  5. J. Zhu, J. Li, Q. Zhong, H. Wang, L. Huang, F. Fontein, L. Hu, R. Liu, H. Fuchs, W. Wang, Y. Wang, and L. Chi, Small Methods 3, 1800508 (2019).
  6. J. H. Han, D. Kim, T.-W. Lee, E. G. Jeong, H. S. Lee, and K. C. Choi, ACS Photonics 5, 1891 (2018).
  7. J. Zhu, F. Fontein, H. Wang, Q. Zhong, C. Li, J. Li, B. Wang, L. Liao, Y. Wang, L. Huang, H. Fuchs, W. Wang, and L. Chi, Mater. Chem. Front. 1, 2606 (2017).
  8. W.-J. Joo, J. Kyoung, M. Esfandyarpour, S.-H. Lee, H. Koo, S. Song, Y.-N. Kwon, S. H. Song, J. C. Bae, A. Jo, M.-J. Kwon, S. H. Han, S.-H. Kim, S. Hwang, and M. L. Brongersma, Science 370, 459 (2020).
  9. C. Kim, K. Kim, O. Kwon, J. Jung, J. K. Park, D. H. Kim, and K. Jung, J. Soc. Inf. Disp. 28, 668 (2020).
  10. C. Murawski and M. C. Gather, Adv. Opt. Mater. 9, 2100269 (2021).
  11. J. H. Kwon, Inf. Disp. 29, 12 (2013).
  12. J.-J. Lih, C.-I. Chao, and C.-C. Lee, J. Soc. Inf. Disp. 15, 3 (2007).
  13. 양지혜, 박세영, 곽동길, 강문성, 인포메이션 디스플레이 22, 3 (2021).
  14. 이승민, 김상원, 최홍수, 기계저널 : 대한기계학회 57, 42 (2017).
  15. T. Fang, F. Zhang, S. Yuan, H. Zeng, and J. Song, InfoMat. 1, 211 (2019).
  16. H. W. Park, K.-Y. Choi, J. Shin, B. Kang, H. Hwang, S. Choi, A. Song, J. Kim, H. Kweon, S. Kim, K.-B. Chung, B. Kim, K. Cho, S.-K Kwon, Y.-H. Kim, M. S. Kang, H. Lee, and D. H. Kim, Adv. Mater. 31, 1901400 (2019).
  17. Y.-Q. Zheng, Y. Liu, D. Zhong, S. Nikzad, S. Liu, Z. Yu, D. Liu, H.-C. Wu, C. Zhu, J. Li, H. Tran, J. B.-H. Tok, and Z. Bao, Science 373, 88 (2021).
  18. K. Sun, D. Tan, X. Fang, X. Xia, D. Lin, J. Song, Y. Lin, Z. Liu, M. Gu, Y. Yue, and J. Qiu, Science 375, 307 (2022).
  19. S. Krotkus, F. Ventsch, D. Kasemann, A.A. Zakhidov, S. Hofmann, K. Leo, and M. C. Gather, Adv. Opt. Mater. 2, 1043 (2014).
  20. J. S. Park, J. Kyhm, H. H. Kim, S. Jeong, J. Kang, S. E. Lee, K.-T. Lee, K. Park, N. Barange, J. Han, J. D. Song, W. K. Choi, and I. K. Han, Nano Lett. 16, 6946 (2016).
  21. I. L. Medintz, H. T. Uyeda, E. R. Goldman, and H. Mattoussi, Nat. Mater. 4, 435 (2005).
  22. V. R. Manfrinato, D. D. Wanger, D. B. Strasfeld, H.-S. Han, F. Marsili, J. P. Arrieta, T. S. Mentzel, M. G. Bawendi, and K. K. Berggren, Nanotechnology 24, 125302 (2013).
  23. M. Shirayama, M. Kato, T. Miyadera, T. Sugita, T. Fujiseki, S. Hara, H. Kadowaki, D. Murata, M. Chikamatsu, and H. Fujiwara, J. Appl. Phys. 119, 115501 (2016).
  24. C. Zou, C. Chang, D. Sun, K. F. Böhringer, and L. Y. Lin, Nano Lett. 20, 3710 (2020).
  25. D. Liu, K. Weng, S. Lu, F. Li, H. Abudukeremu, L. Zhang, Y. Yang, J. Hou, H. Qiu, Z. Fu, X. Luo, L. Duan, Y. Zhang, H. Zhang, and J. Li, Sci. Adv. 8, eabm8433 (2022).
  26. S. X. Cai, D. J. Glenn, M. Kanskar, M. N. Wybourne, and J. F. W. Keana, Chem. Mater. 6, 1822 (1994).
  27. R.-Q. Png, P.-J. Chia, J.-C Tang, B. Liu, S. Sivaramakrishnan, M. Zhou, S.-H. Khong, H. S. O. Chan, J. H. Burroughes, L.-L. Chua, R. H. Friend, and P. K. H. Ho, Nat. Mater. 9, 152 (2010).
  28. M. J. Kim, M. Lee, H. Min, S. Kim, J. Yang, H. Kweon, W. Lee, D. H. Kim, J.-H. Choi, D. Y. Ryu, M. S. Kang, B. Kim, and J. H. Cho, Nat. Commun. 11, 1 (2020).
  29. W. Jang, M. Lee, H. Kweon, H. W. Park, J. Yang, S. Kim, H. Jo, C. Lee, J. H. Cho, K. Kwak, D. H. Kim, B. Kim, and M. S. Kang, ACS Photonics 8, 2519 (2021).
  30. J. Yang, M. Lee, S. Y. Park, M. Park, J. Kim, N. Sitapure, D. Hahm, S. Rhee, D. Lee, H. Jo, Y. H. Jo, J. Lim, J. Kim, T. J. Shin, D. C. Lee, K. Kwak, J. S. Kwon, B. Kim, W. K. Bae, and M. S. Kang, Adv. Mater. 2205504 (2022).
  31. D. Hahm, J. Lim, H. Kim, J.-W. Shin, S. Hwang, S. Rhee, J. H. Chang, J. Yang, C. H. Lim, H. Jo, B. Choi, N. S. Cho, Y.-S Park, D. C. Lee, E. Hwang, S. Chung, C.-m Kang, M. S. Kang, and W. K. Bae, Nat. Nanotechnol. 17, 952 (2022).
  32. H.-G. Rhee and Y.-W. Lee, Optics Express 18, 1734 (2010).
  33. Y.-G. Kim, N. N. H. Anh, H.-G. Rhee, and Y.-S. Ghim, J. Korean Soc. Precis. Eng. 36, 1003-1007 (2019). https://doi.org/10.7736/KSPE.2019.36.11.1003
  34. C. Yun, J. W. Han, M. H. Kang, Y. H. Kim, B. Kim, and S. Yoo, ACS Appl. Mater. Interfaces 11, 47143 (2019).
  35. X. Huang, Q. Guo, D. Yang, X. Xiao, X. Liu, Z. Xia, F. Fan, J. Qiu, and G. Dong, Nat. Photonics 14, 82 (2020).
  36. K. Sun, D. Tan, X. Fang, X. Xia, D. Lin, J. Song, Y. Lin, Z. Liu, M. Gu, Y. Yue, and J. Qiu, Science 375, 307 (2022).