한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)

  • 제32권6호
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  • Pages.276-285
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  • 2021
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  • 1225-6285(pISSN)
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  • 2287-321X(eISSN)
한국광학회 (Optical Society of Korea)
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레이저 박리용 선형 빔 광학계의 빔 변환 모듈과 단축 형상에 대한 연구

Research on BTU and Short-axis Geometry of Line-beam Optics for LLO Applications

  • 투고 : 2021.11.02
  • 심사 : 2021.11.17
  • 발행 : 2021.12.25
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초록

본 논문은 디스플레이용 OLED의 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 선형빔 광학계에 대한 연구로서, M2가 큰 레이저를 사용하는 경우, 단축의 선폭을 작게 만들면서 공정심도를 깊게 유지하기 위한 빔 변환 모듈(beam transformation unit, BTU)을 포함한 광학계에 대한 연구를 진행하였고, 단축 형상을 슈퍼 가우시안으로 만들 수 있는 방법과 flat-top 분포로 만들 수 있는 광섬유를 사용하는 빔 변환 방식에 대하여 제시하였다.

This paper reports the study of the line-beam optical system of the laser lift-off (LLO) equipment used in the OLED manufacturing process. To obtain both a long process depth and a narrow width of the line beam, even with the poor M2 value of the laser source, the research is focused on the optical system, including the beam transformation unit (BTU). We also propose optical configurations for the super-Gaussian distribution and the fiber-based BTU for the flat-top distribution.

키워드

과제정보

이 연구는 2019년도 산업통상자원부 및 산업기술평가관리원(KEIT) 연구비 지원에 의한 연구임('과제번호20006533').

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