The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences (한국전자통신학회논문지)

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A Three-layered Optical Waveguide of Second-order Orbital Angular Momentum Mode Guiding for Photonic Integrated Circuit

3층 구조를 가지는 광 집적회로용 2차 궤도 각운동량 광 도파로

  • Received : 2019.06.19
  • Accepted : 2019.08.15
  • Published : 2019.08.31
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Abstract

In this paper, a specifically designed waveguide structure that can carry first, and second-order orbital angular momentum(: OAM) mode is proposed. The proposed optical waveguide consists of three Si stripes embedded in $SiO_2$, which is suitable for implementing on-chip integration and fabrication by standard thin film deposition and etching processes. The second-order OAM mode was generated by combining two eigenmodes, which are calculated by finite difference method(: FDM). The topological charge number of the first, and second-order OAM mode was calculated as l=0.9642 and 1.8766 respectively, which is close to the theoretical value.

본 논문에서는 기존의 l=1 궤도 각운동량 모드에 대해서만 연구가 이루어지던 광 도파로 구조를 개선하여 반도체 박막 공정으로 제작이 가능하고, l=1 및 l=2 궤도 각운동량 모드를 전송할 수 있는 광 집적회로용 실리콘 광 도파로를 유한차분법을 통하여 설계하였다. 설계된 광 도파로는 여러 층의 실리콘과 실리콘 산화막으로 이루어져 있으며, 두 고유 모드의 합성을 통하여 궤도 각운동량을 가지는 모드를 구현한다. 제안된 광 도파로의 2차 궤도 각운동량 모드의 전기장 분포를 통한 궤도 각운동량 계산 결과, 궤도 각운동량 양자수가 1차 및 2차 각각 l= 0.9642, 1.8766으로 이론치에 매우 근접한 값을 보였다.

Keywords

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그림 1. HG10, HG01 모드의 합성을 통한 1차 OAM 모드 생성 Fig. 1 Generation of OAMl=1 by combining HG10, and HG01 mode

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그림 2. 2차 OAM 모드 생성 개념도 Fig. 2 Conceptual diagram of OAMl=2 mode generation

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그림 3. 1, 2차 OAM 모드 전송을 위한 광 도파로 구조 Fig. 3 Waveguide structure for guiding OAMl=1,2 mode

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그림 4. 유한차분법으로 계산한 시뮬레이션 결과 (a) HG01모드의 |Ex| 분포 (b) HG10 모드의 |Ex| 분포 (c) HG01 모드의 x성분 위상분포 (d) HG10 모드의 x성분 위상분포 Fig. 4 FDM simulation results of |Ex| distribution of (a) HG01 mode (b) HG10 mode; x-component phase distribution of (c) HG01 mode (d) HG10 mode

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그림 5. 유한차분법으로 계산한 시뮬레이션 결과 (a) LGsin2Φ 모드의 |Ex| 분포 (b) LGcos2Φ 모드의 |Ex| 분포 (c) LGsin2Φ 모드의 x성분 위상분포 (d) LGcos2Φ 모드의 x성분 위상분포 Fig. 5 FDM simulation results of |Ex| distribution of (a) LGsin2Φ mode (b) LGcos2Φ mode; x-component phase distribution of (c) LGsin2Φ mode (d) LGcos2Φ mode

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그림 6. 최종적으로 생성된 OAM 모드. 1차 OAM의 모드의 (a) |Ex| 분포 (b) x성분 위상분포. 2차 OAM 모드의 (c) |Ex| 분포 (d) x성분 위상분포 Fig. 6 Generated OAM mode (a) |Ex| distribution (b) x-component phase distribution of l=1 OAM mode; (c) |Ex| distribution (d) x-component phase distribution of l=2 OAM mode

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그림 7. LP 모드의 빔 웨이스트에 따른 OAM 모드와의 중첩적분 Fig. 7 Overlap integrals between LP mode and OAM mode at different beam waists

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