과제정보
연구 과제 주관 기관 : 용인대학교
참고문헌
- 산업안전보건연구원, "반도체 제조 사업장에 종사하는 근로자의 작업환경 및 유해요인 노출특성 연구" (2012).
- Lobert, J. M., Cate, P. W., Ruede, D. J., Wildgoose, J. R., Miller, C. M., and Gaudreau, J. C., "Advances in the understanding of low molecular weight silicon formation and implications for control by AMC filters," Proceeding SPIE, 7638, 763832 (2010).
- Pic, N, Martin, C., Vitalis, M., Calarnou, T., Camlay, D., Grosjean, C., Lanier, A., Kames, J., Acksel, A., and Galvez, C., "Defectivity decrease in the photolithography pro-cess by AMC level reduction through implementation of novel filtration and monitoring solutions," Proceeding SPIE, 7638, 76380M (2010).
- Hayeck, N., Temime-Toussel, B., Gligorovski, S., Mizzi, A., Gemayel, R., Tlili, S., Maillot, P., Pic, N., Vitrani, T., Poulet, I., and Wortham, H., "Monitoring of organic contamination in the ambient air of microelectronic clean room by proton-transfer reaction/time-of-flight/mass spectrometry (PTR-ToF-MS)," International Journal of Mass Spectrometry, 392, 102-110 (2015). https://doi.org/10.1016/j.ijms.2015.09.017
- Andrew M. Ellis and Christopher A. Mayhew, "Proton Transfer Reaction Mass Spectrometry," John Wiley & Sons, United Kingdom, 90-95 (2014).
- 김정호, 윤관훈, Lukas Mark, 이정주, 박종성, 안준영, 한진석, 김신도, "주류 및 지류 담배연기의 실시간 질량스펙트럼 비교에 관한 연구," 한국도시환경학회지, 13(2), 117-127 (2013).
- 김정호, 박진수, 민철현, 김소영, 윤관훈, 김신도, "반도체 제조공정에서 양자전이 비행시간 질량분석기를 이용한 Trimethylsilanol 분석방법에 대한 연구," 한국도시환경학회지, 17(1), 85-95(2017).
- Simon B N Thompson, Implications for cognitive rehabilitation and brain injury from exposure to methyl ethyl ketone (MEK): A Review, The Journal of Cognitive Rehabilitation, 4-11 (2011).
-
박승명, 박종성, 송인호, 신혜정, 홍유덕, 김정호, "서울지역 2014년 6월 산화성 VOCs와
$PM_{1.0}$ 유기성분의 산화 특성 연구," 한국도시환경학회지, 15(3), 207-218 (2015). - 김기준, 윤영삼, 이진선, 박현주, 서석준, 윤준헌, 석광설, 최경희, "PTR-TOF-MS를 이용한 화학사고 원인물질 분석연구-에폭시와 아크릴산 이상반응에 의한 사고사례," 한국환경분석학회지, 17(1), 21-28 (2014).
- Schade, G. W. and Goldstein, A. H., "Seasonal measurement of acetone and methanol : Abundances and implications for atmospheric budgets," Global Biogeochemical Cycles, 20, GB1011, doi:10.1029/2005GB002566 (2006).
- Park, S., Kim, J., Lee, G., Lee, M., Kang, C., and Sunwoo, Y., "Characteristics of the major atmospheric aromatic hydrocarbons in the Yellow sea," Asian Journal of Atmospheric Environment, 9-1, 57-65 (2015). https://doi.org/10.5572/ajae.2015.9.1.057