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A Study of Explosion Hazard Proof Modeling for Risk Minimization to Semiconductor & FPD Manufature Equipment and Clean Room

반도체·FPD 제조설비와 클린룸의 RISK 최소화를 위한 폭발위험장소 설정 모델링에 관한 연구

  • Noh, HyunSeok (Dept. of Safety Engineering, Incheon National University) ;
  • Woo, InSung (Dept. of Safety Engineering, Incheon National University) ;
  • Hwang, MyungHwan (Dept. of Safety Engineering, Incheon National University) ;
  • Woo, JungHwan (Dept. of Electrical and Computer Engineering, Texas A&M University)
  • Received : 2017.11.13
  • Accepted : 2018.02.23
  • Published : 2018.02.28

Abstract

In this study, we analyzed risks of the fabrication process equipment and cleanroom for semiconductor/flat panel display (FPD) manufacturing facilities and studied the fundamental safety measures for the risk factors. We examined the explosion proof design models considering the specificity of equipment and environment, and planned to utilize the findings to provide technical standards and grounds for designing and manufacturing related equipment. We believe that this study will contribute to the establishment of technical standards for semiconductor/FPD industry and businesses in many different ways by providing optimized modeling of high-risk explosion site detection, developing safety standards and hazard countermeasures and voluntary activation of safety certification system for operation of fabrication process equipment.

본 연구를 통하여 반도체 FPD 제조설비 및 클린룸에 관련한 설비의 위험성분석과 그에 대한 근원적인 안전대책을 연구하고, 설비 및 환경의 특수성을 고려한 방폭 설계 모델링화를 검토하여 관련 설비의 설계 및 제작에 기술적인 기준과 근거로 활용하고자 하며, 아래와 같은 성과로서 향후 반도체 FPD 산업의 기술적 기준 수립 및 관련 산업에 기여할 것으로 생각한다. 1) 관련 국제 기술규격과 법령, 설비의 특성을 반영한 FAB 장비의 최적화된 폭발위험장소의 모델링 도출 2) FAB 장비 및 클린 룸의 특성을 고려한 위험설비의 안전성 확보 (Fool-Proof와 Fail Safe)를 위한 안전시스템 구축방안과 안전기준 및 대책 도출 3) 향후 FAB 장비의 방폭 설계에 대한 가장 효율적인 기준 적용을 통한 신규 FAB 장비의 방폭 성능의 유연성 확보하고 수립된 안전기준을 통한 설비와 안전시스템의 신뢰성 검증 절차 운영을 위한 "안전인증제도"의 자율적 향상화.

Keywords

References

  1. 한국화재보험협회. " 반도체공업 위험관리 ", 2012, pp.18-21
  2. 한국산업표준, "KSC IEC 60079-10-1 : 2012 폭발 분위기-제10-1부:폭발위험 장소의 구분", 2012
  3. Energy Institute, "EI-15 Area Classification Code for Installations Handling Flammable Fluids" 2005 3rd edition
  4. NFPA 497 Recommended Practice for the Classification of Flammable Liquids, Gases or Vapors and of Hazardous (Classified) Locations for Electrical Installations in Chemical Process Areas
  5. API 505 Classification of locations for electrical installations at petroleum facilities classified as Class 1, Zone 0, zone 1, and zone 2
  6. 김광일, 반도체 산업에서의 사고사례분석 및 안전대책 방안, 한국화재소방학회지 10권 1호. 1996, pp49-50.