Journal of the KSME (기계저널)

Volume 57 Issue 1
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Pages.32-36
/
2017
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1226-7287(pISSN)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)

권호 표지

전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공

Kim, In-Gi ;
No, Jun-Seok

김인기 (포항공과대학교 기계공학과) ;
노준석 (포항공과대학교 기계공학과/화학공학과)

Published : 2017.01.01

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Abstract

이 글에서는 전자빔 리소그래피 오버레이 공정과 이를 이용해 제작된 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조에 대해서 소개하고자 한다.

Keywords