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Survey on microcalorimetry about EDS

에너지 분산형 미세열량측정에 관한 자료조사

  • 김종헌 (한국과학기술정보연구원) ;
  • 박관순 (한국과학기술정보연구원) ;
  • 오창섭 (한국과학기술정보연구원)
  • Received : 2014.01.16
  • Accepted : 2014.03.17
  • Published : 2014.03.31

Abstract

We have surveyed on microcalorimetry which we can treat with energy dispersive spectrometer(EDS) as wavelength dispersive spectrometer(WDS), to be developed in order to make higher energy resolution as to detect X-ray peak as high as wavelength dispersive spectrometer(WDS). When we take into consideration about energy resolution, Wavelength dispersive spectrometer is 2~20eV and energy dispersive spectrometer is 140~180eV.

본 에너지 분산 형 미세열량측정에 관한 자료는 에너지 분산 형의 우수한 조작 성을 유지하면서 파장 분산 형과 비슷한 정도의 에너지 분해능을 가질 수 있도록 개선한 것으로 광범위한 에너지의 X선을 검출을 할 수 있다. X선을 검출하기 위해서 이용되는 파장 분산 형은 에너지 분해능이 우수하지만 X선의 파장에 대해 검출 각도를 변화시켜야 하고 검출하고자 하는 특정 X선 종류에 따라 몇 가지의 검출기를 필요로 하고 있다. 그러나 에너지 분산 형의 검출기는 한 개의 검출기로 광범위한 X선을 동시에 검출할 수 있으며 조작 방법도 비교적 용이하다. 그러나 에너지 분산 형은 에너지 분해능이 우수하지 못 하고 또한 인접한 에너지를 갖는 X선은 그 피크가 중첩되어 구별하기가 어려운 경우도 있다. 에너지 분해능은 파장분산 형이 2~20 eV이고 에너지 분산 형은 140~180 eV로 상당한 차이가 있다.

Keywords

References

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