전자공학회논문지 (Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers)

  • 제51권8호
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  • Pages.23-29
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  • 2014
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  • 2287-5026(pISSN)
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  • 2288-159X(eISSN)
대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
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태양전지용 웨이퍼의 오염 분석 및 세정에 관한 연구

A Study on Solar Cell Wafer Contamination Diagnostic and Cleaning

  • 손영수 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부) ;
  • 함상용 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부) ;
  • 채상훈 (호서대학교 전자공학과)
  • 투고 : 2014.03.06
  • 심사 : 2014.07.30
  • 발행 : 2014.08.25
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초록

실리콘 태양전지 제조에 기판으로 사용되는 156 mm 실리콘 웨이퍼의 제작 공정에 있어서 제품 불량 및 성능 저하를 유발하는 웨이퍼 표면 오염원을 분석하였으며, 이를 제거하기 위한 오존수 세정에 대하여 실험하였다. 오염물질은 웨이퍼 절단 공정에서 사용되는 슬러리 및 세척액 속에 포함된 유기물과 소잉 와이어로부터 분리된 미세입자에 의해 형성되며, 오존수 세정공정을 통하여 제거할 수 있었다. 이 기술을 적용하면 태양전지용 웨이퍼를 저렴하고 효율적이며 친환경적으로 제조할 수 있다.

We have studied on ozonate water cleaning mechanisms to apply in manufacturing process of 156 mm silicon wafer which is used in the solar cell fabrication. We have analyzed contamination sources on wafer surface which causes poor quality and performance of products in fabrication process, and examined cleaning process using ozonate water to eliminate it. Contamination sources consist of remaining material like organic matter in slurry and detergent and particles in sawing wire. Using this novel technology it is possible for the solar cell wafer to clean with low cost, high performance, and eco-friendly.

키워드

참고문헌

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