Abstract
The current state monitoring system at a semiconductor manufacturing process is based on the manually collected sensor data, which involves limitations when it comes to complex malfunction detection and real time monitoring. This study aims to design a situation recognition algorithm to form a network over time by creating a domain ontology and to suggest a system to provide users with services by generating events upon finding risk factors in the semiconductor process. To this end, a multiple sensor node for situational inference was designed and tested. As a result of the experiment, events to which the rule of time inference was applied occurred for the contents formed over time with regard to a quantity of collected data while the events that occurred with regard to malfunction and external time factors provided log data only.
현재 구축되어 있는 반도체 공정에서의 상태감시 시스템은 센서 데이터를 수동으로 수집하는 방식으로써 복합 장애 검출이나 실시간 감시에서 한계가 존재한다. 본 논문에서는 영역 온톨로지를 구성하여 시간에 따른 관계망을 형성하는 상황인지 알고리즘을 설계하고 이를 통해 반도체 공정에서 위험요소가 발견되는 부분에 대해서 이벤트를 생성하여 사용자에게 서비스하는 시스템을 제안하며, 이를 구현하기 위해 상황 추론을 위한 다중센서 노드를 설계하고 이를 실험하였다. 실험 결과, 다수의 수집된 데이터에서 시간에 대한 관계가 형성된 내용에 대해서는 시간적 규칙추론이 적용된 이벤트가 발생하였으며 오작동 및 외부의 시간적 요인에서 발생되는 이벤트는 Log로만 데이터를 제공하는 것을 확인할 수 있었다.
