Abstract
The performance evaluation and fabrication of integrated-optic electric-field sensor utilizing $Ti:LiNbO_3$ asymmetric Mach-Zehnder intensity modulator with a push-pull lumped electrode and a plate-type probe antenna to measure an electric field strength is described. The modulator has a small device size of $46{\times}7{\times}1\;mm$ and operates at a wavelength $1.3{\mu}m$. The devices are simulated based on the BPM software and fabricated utilizing Ti-diffused $LiNbO_3$ channel optical waveguides. The minimum detectable electric field is 1.02 V/m and 6.91 V/m, corresponding to a dynamic range of ~35 dB and ~10 dB at the frequencies of 500 KHz and 5 MHz, respectively.
전계 측정시스템에서 센서 감지부로 $1.3{\mu}m$ 파장대역에서 동작하는 비대칭 구조의 집적광학 Mach-Zehnder 광변조기를 구현하였다. BPM 전산모사를 통해서 소자의 동작 특성을 검증하였고, $LiNbO_3$에 Ti 확산방법으로 구현된 채널 광도파로에 평판형 안테나가 부착된 집중 전극구조 배열하여 전계 센서를 제작하였다. 500 KHz, 5 MHz 각각의 주파수에서 측정 가능한 최소 전계는 1.02 V/m, 6.91 V/m로 평가 되었으며, 이에 대응되는 각 주파수에서 ~35 dB, ~10 dB의 다이나믹 범위가 측정되었다.