기계저널 (Journal of the KSME)

대한기계학회 (The Korean Society of Mechanical Engineers)
권호 표지

레이저를 이용한 마이크로 및 나노 가공

  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학부)
  • 발행 : 2011.09.01
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초록

레이저 마이크로 및 나노 가공은 공기 중에서 고속으로 실행이 가능하여 산업적으로 응용이 가능한 거의 유일한 초미세가공기술로소 반도체, 전자, 마이크로유체소자 등과 같은 분야에 널리 응용되고 있고 기존 기술의 한계를 뛰어 넘는 새로운 기술을 창출하는 데 기여하고 있다.

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