플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피기술

  • 발행 : 2011.09.01

초록

플라즈모닉 레이저광 나노리소그래피 기술은 플라즈몬 현상을 이용하여 레이저 광이 접속된 수십 나노 크기의 작은 빛을 이용하는 차세대 나노리소그래피 기술을 의미하여, 이글에서는 현재 개발되고 있는 레이저 응용 플라즈모닉 리소그래피 기술을 정리하고, 앞으로의 발전 방향을 소개하고자 한다.

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