References
- G. K. Celler and S. Cristoloveanu, J. Appl. Phys. 93, 4955 (2003) [DOI: 10.1063/1.1558223].
- S. A. Vitale, J. Kedzierski, and C. L. Keast, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2472 (2009) [DOI: 10.1116/1.3253533].
- S. Mukhopadhyay, K. Keunwoo, W. Xinlin, D. J. Frank, P. Oldiges, C. Ching-Te, and K. Roy, IEEE Electron Device Lett. 27, 284 (2006) [DOI: 10.1109/LED.2006.871540].
- S. H. Kim and J. G. Fossum, Solid-State Electron. 49, 595 (2005) [DOI: 10.1016/j.sse.2004.12.004].
- S. Eminente, S. Cristoloveanu, R. Clerc, A. Ohata, and G. Ghibaudo, Solid-State Electron. 51, 239 (2007) [DOI: 10.1016/j.sse.2007.01.016].
- J. Tonotani, T. Iwamoto, F. Sato, K. Hattori, S. Ohmi, and H. Iwai, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2163 (2003) [DOI: 10.1116/1.1612517].
- S. Tabara, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 2508 (1997) [DOI: 10.1143/JJAP.36.2508].
- C. B. Labelle, H. L. Maynard, and J. T. C. Lee, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2574 (1996) [DOI: 10.1116/1.588770].
- K. B. Jung, H. Cho, Y. B. Hahn, D. C. Hays, E. S. Lambers, Y. D. Park, T. Feng, J. R. Childress, and S. J. Pearton, J. Electrochem. Soc. 146, 1465 (1999) [DOI: 10.1149/1.1391787].
- X. Li, L. Ling, X. Hua, G. S. Oehrlein, Y. Wang, and H. M. Anderson, J. Vac. Sci. Technol. A 21, 1955 (2003) [DOI: 10.1116/1.1619420].
- X. Yang, D. P. Kim, G. H. Kim, J . C. Woo, D. S. Um, and C. I . Kim, Ferroelectrics 384, 39 (2009) [DOI : 10.1080/00150190902892741].
- D. P. Kim, X. Yang, J. C. Woo, D. S. Um, and C. I. Kim, J. Vac. Sci. Technol. A 27, 1320 (2009) [DOI: 10.1116/1.3244567].
- S. K. Rha, W. J. Lee, S. Y. Lee, Y. S. Hwang, Y. J. Lee, D. I. Kim, D. W. Kim, S. S. Chun, and C. O. Park, Thin Solid Films 320, 134 (1998) [DOI: 10.1016/s0040-6090(97)01077-8].
- W. S. Hwang, J. Chen, W. J. Yoo, and V. Bliznetsov, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 964 (2005) [DOI: 10.1116/1.1927536].
- M. H. Shin, S. W. Na, N. E. Lee, and J. H. Ahn, Thin Solid Films 506-507, 230 (2006) [DOI: 10.1016/j.tsf.2005.08.019].
- E. Sungauer, E. Pargon, X. Mellhaoui, R. Ramos, G. Cunge, L. Vallier, O. Joubert, and T. Lill, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1640 (2007) [DOI: 10.1116/1.2781550].
- J. F. Marco, A. C. Agudelo, J. R. Gancedo, and D. Hanzel, Surf. Interface Anal. 27, 71 (1999) [DOI: 10.1002/(sici)1096-9918(199902)27:2<71::aid-sia469>3.0.co;2-g].