Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지
DOI QR코드

DOI QR Code

The Study of Pressure Vacuum Measurement Techniques Using Ultrasonic Acoustic Impedance Transducers

초음파 음향임피던스 변환기를 이용한 저압 저진공 측정기술 연구

  • Hong, S.S. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Shin, Y.H. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Cho, S.H. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Ahn, B.Y. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim, J.Y. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Choi, I.M. (Korea Research Institute of Standards and Science)
  • Received : 2010.04.14
  • Accepted : 2010.06.29
  • Published : 2010.09.30
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Pressure vacuum measurement technique using acoustic impedance change of ultrasonic transducers was studied. The sensor has been setup using two air-coupled ultrasonic transducers, one as a transmitter and the other as a receiver, and put it into vacuum chamber and measured pressure versus ultrasonic amplitude. The result confirms that the standard deviations of four repeat measurements were from 0.0093 to 0.3325 at pressure 6.66 kPa to 202.65 kPa(about two atmosphere), and the relative percents were 0.018% and 0.164% at pressure 133.32 kPa and 202.65 kPa, respectively.

초음파 변환기의 기체 음향임피던스 변화를 이용해서 압력진공 측정기술을 연구하였다. 상용화된 한 쌍의 500 kHz 공중 초음파 변환기(air-coupled ultrasonic transducer)를 진공용기에 넣고 초음파 진폭을 측정하였다. 그 결과 6.66 kPa에서 202.65 kPa (약 2기압)까지 4회 반복 측정값으로부터 계산된 표준편차는 0.0093에서부터 0.3325 사이에 있었으며, 표준편차를 압력으로 나누어서 백분율로 나타낸 값은 133.32 kPa에서 0.018%이었고 202.65 kPa에서는 0.164%이었다.

Keywords

References

  1. S. S. Hong, Y. H. Shin, K. H. Chung, and K. Jousten, Journal of the Korean physical society 44, 1364 (2004).
  2. 홍승수, 신용현, 정광화, I. Arakawa, 한국진공학회지 14, 103 (2005).
  3. 홍승수, 신용현, 정광화, I. Arakawa, 한국진공학회지 12, 151 (2003).
  4. 홍승수, 신용현, 정광화, 임인태, 우삼용, 최상철, 한국진공학회지 10, 173 (2001).
  5. E. Rosenkrantz, J. Y. Ferrandis, J. Mahieu, and G. Leveque, 19th International congresson acoustics, 2 (2007).
  6. H. Toda and T. Kobayakawa, Sensors and actuators A 144, 1 (2008). https://doi.org/10.1016/j.sna.2007.12.025
  7. 홍승수, 신용현, 안봉영, 조승현, 김기복, 미국특허 출원번호 12/190350 (2008).
  8. 안봉영, 홍승수, 신용현, 정광화, 미국특허 출원번호 12/192,595 (2008).
  9. 안봉영, 조승현, 홍승수, 신용현, 정광화, 한국특허 출원번호 10-2008-0041715 (2008).
  10. 홍승수, 신용현, 정광화, 미국특허 등록번호 US 7,228,742 B2 (2007).
  11. 조승현, 안봉영, 홍승수, 신용현, 한국특허 출원번호 10-2008-0041717 (2008).
  12. 조승현, 안봉영, 홍승수, 신용현, 미국특허 출원번호 12/190,901 (2008).
  13. Lianji Jin, 조승현, 안봉영, 신용현, 홍승수, 2009년 추계비파괴학회 (2009).
  14. Lianji Jin, S. H. Cho, and B. Y. Ahn, 신용현, 홍승수, BIEN2009 (2009).
  15. S. S. Hong, Y. H. Shin, and K. H. Chung, J. Vac. Sci. Technol. A24, 1831 (2006).
  16. 홍승수, 신용현, 정광화, 한국진공학회지 5, 181 (1996).