Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회논문지)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
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Optical metrology for resonant surface acoustic wave in RF device

RF 소자의 표면탄성파 공진에 대한 광학적 측정

  • Park, Jun-Oh (Division of Electron, Computer and Communication Engineering, Hanseo University) ;
  • Jang, Won-Kweon (Division of Electron, Computer and Communication Engineering, Hanseo University)
  • 박준오 (한서대학교 전자컴퓨터통신학부) ;
  • 장원권 (한서대학교 전자컴퓨터통신학부)
  • Received : 2010.07.07
  • Accepted : 2010.09.08
  • Published : 2010.09.30
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Abstract

Unlike the electric method capable of checking only product defect, the real time optical metrology is suggested for measuring and visualizing vibration with respect to position of surface acoustic wave in RF device. The measuring limits and conditions for surface acoustic wave is given, and the interference and diffraction due to RF signal are analyzed by optical interpretation. A single mode laser and a 105MHz-center-frequency repeater filter were employed for experiments and theoretical analysis. In this paper, the optical metrology providing visual energy distribution and real time inspection for surface acoustic wave is proposed for development of high quality multi-service and multi-frequency RF module.

표면탄성파를 이용한 RF소자의 성능을 단순히 작동 유무로만 평가할 수 있는 전기적인 성능 평가방법과 달리 위치에 따른 표면탄성파의 형성 정도를 실시간으로 검사할 수 있는 광학적 방법을 제시하였다. 광학적 방법을 이용한 표면 탄성파의 측정 조건과 한계를 제시하였고 간섭 및 회절 현상을 이용하여 RF신호의 입력 유무에 따른 광학적 해석을 하였다. 단일 모드 레이저를 이용하여 중심 주파수가 105MHz인 중계기 필터의 동작을 실험적으로 측정하고 이론적으로 분석하였다. 본 논문에서는 다기능 서비스를 제공하는 복합 주파수 RF 모듈의 고품질화를 위한 방법으로 표면탄성파의 에너지 분포를 시각화하고 실시간으로 평가할 수 있는 광학적 방법을 제시하였다.

Keywords

References

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