References
- T. G. Chung, Y. H. Kim and J. G. Na, J. Kor. Inst. Met. & Mater., 29(11), 1097 (1991).
- K. H. Hwang, K. I. Lee, S. K. Joo and T. Kang, J. Kor. Cryst. Growth & Cryst. Tech., 1(2), 80 (1991).
- S. M. Sze, VLSI Technology, 2nd Ed, p. 373, McGraw Hill, USA (1988).
- G. F. McGuire, Semiconductor Materials and Process Handbook, p. 587, Noyes Publication, (1988).
- E. J. Lee and J. S. Kim, Journal of the Institute of Industrial Technology, 6(2), 11 (1998) (ISSN : 1229-1773).
- J. J. Kim and M. S. Kang, Hwahak Konghak, 39(6), 721 (2001).
- B. S. Min, W. S. Chung and I, G, Kim, J. Kor. Inst. Met. & Mater., 40(12), 12 (2002).
- A. Ibanez and E. Fatas, Surf. Coating. Tech., 191, 7 (2005). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.05.001
- T. X. Liang, Y. Q. Liu, Z. Q. Fu, T. Y. Luo and K. Y. Zhang, Thin Solid Films, 473, 247 (2005). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.07.073
- Y. J. Song, J. H. Seo, Y. S. Lee and S. K. Rha, Kor. J. Mater. Res., 19(6), 344 (2009) (in Korean). https://doi.org/10.3740/MRSK.2009.19.6.344
- H. S. Lee, H. S. Kim and C. M. Lee, J. Kor. Inst. Met. & Mater., 39(8), 920 (2001).
- J. W. Choi, T. S. Oh and Y. H. Kim, J. Kor. Inst. Met. & Mater., 35(5), 542 (1997).
- T. G. Woo, I. S. Park, H. W. Lee, M. H. Lee, E. K. Park, Y. K. Hwang, and K. W. Seol, J. Kor. Inst. Met. & Mater, 45(7), 423 (2007).
- S. C. Park, K. J Min, K. H. Lee, Y. S. Jeong and Y. B. Park, Kor. J. Mater. Res., 18(9), 486 (2008) (in Korean). https://doi.org/10.3740/MRSK.2008.18.9.486
- H. J. Kang, B. N. Park, S. J. Park and S. Y. Choi, Journal of the Institute of Electronic Technology, 23, 8, (2003) (ISSN : 1225-214X).
- P. V. Brande and R. Winand, Surf. Coating. Tech., 52, 1 (1992). https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90365-H
- Z. Zhou and T. J. O’Keefe, J. Appl. Electrochem., 28, 461 (1998). https://doi.org/10.1023/A:1003209009910
- J. J. Yang, Y. L. Huang and K. W. Xu, Surf. Coating. Tech., 201, 5574 (2007). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.227
- T. S. Kuan, C. K. Inoki, G. S. Oehrlein, K. Rose, Y. P. Zhao, G. C. Wang, S. M. Rossnagel, and C. Cabral, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 612, D7.1.1 (2000), ed. K. Maex, Y-C. Joo, G.S. Oehrlein, S. Ogawa, J.T. Wetzel (Materials Research Society, San Francisco, April, 2000). https://doi.org/10.1557/PROC-612-D7.1.1