한국산학기술학회논문지 (Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society)

  • 제10권10호
  • /
  • Pages.2628-2633
  • /
  • 2009
  • /
  • 1975-4701(pISSN)
  • /
  • 2288-4688(eISSN)
한국산학기술학회 (The Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호 표지
DOI QR코드

DOI QR Code

저전압 초소형 전자 칼럼에서 이중 편향기의 효과

Double-deflector effects on a low voltage microcolumn

  • 장원권 (한서대학교 전자컴퓨터통신학부)
  • Jang, Won-Kweon (Division of Electron, Computer and Communication Engineering, Hanseo University)
  • 발행 : 2009.10.31
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

초소형 전자 칼럼에서 이중 편향기는 칼럼의 왜곡 수차의 최소화 및 FOV(field of view)의 극대화 효과를 위하여 사용하고 있다. 이러한 효과를 관찰하기 위하여 이중 편향기에 서로 반대로 전압을 인가한 상태에서 FOV와 주사 폭의 변화에 대한 실험을 진행하였으며, 최대 FOV와 주사 폭에 대한 적정 조건을 얻기 위한 각 편향기의 인가 전압과 전자 방출 팁 전압의 관계를 조사하였다. 또한 전자 방출 팁 전압에 의한 줌 기능의 선형성과 줌 한계를 측정하여 분석하였다.

In a double deflector employed microcolumn, the variation of FOV and scan field width was investigated in mode of conversely biased double deflector to eliminate barrel distortion caused by aberration. The relationship between biased voltage of each deflector and electron emission tip voltage was studied for the maximum FOV and scan field width. The limitation and the linearity of zooming current image are also estimated as a function of electron emission tip voltage.

키워드

참고문헌

  1. E. Kraschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Roshton. M. L. Yu and T. H. P. Chang, "Sub-40nm resolution 1keV scanning tunneling microscope field-emission Microcolumn" J. Vac. Sci. Technol. B12(6), pp3413-3417, 1994.
  2. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, and T. H. P. Chang, "An electron-beam microcolumn with improved resolution, beam current, and stability", J. Vac. Sci. & Technol. B13, pp 2498-2503, 1995.
  3. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, S. Zolgharnain, B. W. Hussey, and T. H. P. Changet al., "Experimental evaluation of a $20{\times}20$ mm footprint microcolumn", J. Vac. Sci. Technol. B14, pp 3792-3796, 1996.
  4. 안승준, 안성준, 김호섭 "Monte Carlo 수치해석법을 이 용한 PMMA resist에서의 저 에너지 전자빔투과 깊이에 관한 연구" 한국산학기술학회논지, 8, pp 734-747, 2007.
  5. 김영철, 안성준, 김호섭, 김대욱, 안승준, "초소형 자유 전자 모듈에 대한 특성 연구", 한국산학기술학회지, 9, pp 1607-1613, 2008.
  6. 박종선, 장원권, 김호섭, "마이크로 전자렌즈의 광학적 정렬과 조립", 한국광학회지, 17, pp 216-220, 2006. https://doi.org/10.3807/KJOP.2006.17.4.354
  7. 박성순, 김호섭, 장원권, "초소형 전자칼럼의 대면적 주사조건", 전기전자재료학회논문지, 20, pp 481-486, 2007.
  8. 이치무라 노리유키, 김영철, 김호섭, 장원권, "저전압 초소형 전자칼럼의 주사면적 크기 및 전류영상 특성 연구", 한국광학회지, vol. 19, pp 365-369, 2008.