초록
최근, LCD(Liquid Crystal Display) 산업에서 클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 시스템인 Stocker 시스템의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 제조 업체는 생산 수율을 높이기 위해 Stocker 시스템의 전체 택타임을 줄이기 위한 방안으로 차세대 Stocker 시스템의 속도를 증가하도록 요구되어 지고 있다. 따라서 본 논문은 차세대 Stocker 시스템의 속도 증가에 대한 비접촉 전원 시스템을 제안하고 Stocker 시스템을 부하로 선정하여 장거리 및 직선구간에 동작 가능한 비접촉 전원 시스템을 제작하여 부하의 여러 운전 패턴에 따른 비접촉 전원시스템의 실증시험, 입/출력 특성 및 효율을 분석하였다.
Recently, As increasing cleanroom size, Stocker system is trending the large size and long distance for LCD material transfer system. In order to rise a rate of production, the manufacturer are on the decrease of total tact time with Stocker system. And the manufacturer are requested to high speed of next generation Stocker system. Therefore, this paper propose Contactless Power Supply(CPS) system about high speed of next generation Stocker system. This paper proposes CPS system is applied in the long distance and straight section with Stocker system. The test results of input/output characteristic and efficiency of CPS system on operating pattern of Stocker system were analyzed, and proved the applicability on commercial use.
